في قاعة التصنيع، فإن عملية تسخين الرقائق ليست مجرد عملية تسخين بسيطة؛ بل إن درجة الحرارة المستخدمة في هذه العملية هي التي تحدد جودة الرقائق، وذلك رقاقة تلو الأخرى. أي تغيير بمقدار 1 درجة مئوية في درجة الحرارة يؤدي إلى تغيير في خصائص الرقائق، ويزيد من كمية الجسيمات الضارة، كما يؤثر سلبًا على جودة الرقائق. لذلك، قمنا بتصميم نظام التسخين بالأشعة تحت الحمراء لدينا للتغلب على هذه المشاكل.
ما يهم حقًا هو استخدام أشعة تحت حمراء ذات موجات قصيرة، مع نافذة إصدار الضوء المصنوعة من الكوارتز، بالإضافة إلى نظام قياس دقيق يضمن توحيد درجة الحرارة على مستوى الرقائق بدقة تصل إلى ±0.1 درجة مئوية. تصل درجة الحرارة إلى القيمة المطلوبة في أقل من 3 ثوانٍ، مما يسمح بالعمل بسرعة دون الحاجة إلى انتظار وقت كافٍ لتسخين الرقائق. يمكن التحكم في درجة الحرارة بدقة 0.1 درجة مئوية، مع إمكانية معايرة النظام باستخدام بيانات مخصصة لكل رقاقة.
المنطقة المخصصة للتسخين صالحة للاستخدام في غرف نظيفة من الفئة 1–100؛ فهي تحتوي على مواد لا تنتج غازات، بالإضافة إلى تدفق هواء منظم، ولا تنتج أي جسيمات ضارة، وذلك بفضل القياسات المستمرة. الطاقة المستخدمة هي 24 فولت مستمر، مع حماية من التداخل الكهرومغناطيسي، كما أن الواجهة متوافقة مع معايير SECS/GEM، مما يسمح بدمج الجهاز مع الأنظمة الأخرى.
أنت بحاجة إلى نظام تسخين موثوق به، يعمل باستمرار، 24/7. يمكن لجهاز التسخين بالأشعة تحت الحمراء لدينا أن يعمل لأكثر من 50,000 ساعة دون أن يحدث أي انحراف في الأداء بأكثر من 5%. كما أنه يمكنه العمل بشكل مستمر دون الحاجة إلى تبريد إضافي. يساعد ذلك في الحفاظ على جودة الرقائق، ويقلل من العيوب الموجودة فيها. كما أن الاستجابة السريعة تقلل من وقت الانتظار بين معالجة الرقائق، والتحكم الدقيق في درجة الحرارة يقلل من الهدر وإعادة المعالجة. كما أن استخدام الطاقة يقل لأن الجهاز يعمل فقط عند الحاجة إلى التسخين، وليس في حالة الاستعداد.
بعض الملاحظات العملية: يجب أن يكون لنافذة إصدار الضوء خطة صيانة مناسبة للعمل في غرف نظيفة، مع بروتوكولات تنظيف وفحوصات دورية، للحفاظ على استقرار الأداء. التركيب بسيط، لكن يجب توفير خط كهربائي مخصص بجهد 24 فولت، بالإضافة إلى توصيل جيد للأرض، لضمان دقة التحكم في درجة الحرارة. يجب مطابقة معايير SECS/GEM الخاصة بالجهاز مع معايير الجهاز الرئيسي، وبذلك يمكن الحصول على نتائج موثوقة على مدار الوقت.