في عملية الطباعة بالليثوغرافيا، فإن أي تغير في درجة الحرارة بمقدار 0.5 درجة مئوية قد يؤدي إلى تغيير في حواف القنوات الميكروفلويدية بمقدار نانومترات، وهذا التغيير بدوره يؤدي إلى خسارة في الإنتاجية. لذلك، صممنا جهازًا خاصًا لمنع هذا التغيير من الحدوث، بحيث يظل مستوى الحرارة ثابتًا من الرقاقة الأولى إلى الأخيرة.
من الناحية الفنية، يستخدم الجهاز عناصر هالوجينية ذات موجات قصيرة خلف نافذة من الكوارتز، مما يسمح بتسخين سريع وفعال. كما أن نظام التحكم المغلق يضمن استقرار درجة الحرارة عند ±0.1 درجة مئوية. يعمل الجهاز في غرف نظيفة من الفئة 1–100، لأن الجزء الحراري مغلق، مما يقلل من تكون الجسيمات. كما أن دقة الإخراج مستقرة على مدار الساعة، ويمكن نقل معلمات الحرارة من جهاز إلى آخر دون الحاجة إلى إعادة ضبطها. كما أن استهلاك الطاقة متوافق مع متطلبات العملية، وليس الحد الأقصى، مما يساعد في الحفاظ على استقرار درجة الحرارة.
لماذا يعمل هذا الجهاز في تقنيات الميكروفلويدية؟
تتطلب هذه التقنيات أبعادًا مستقرة للقنوات وانخفاضًا في عيوب السطح. يساعد الجهاز في استقرار درجة الحرارة أثناء عمليات التسخين، مما يساعد في الحفاظ على الأبعاد المطلوبة وزوايا الجدران. والنتيجة هي تقليل عدد الرقائق التي يجب إعادة معالجتها، وتقليل النفايات، بالإضافة إلى الحفاظ على استقرار درجة الحرارة، مما يسرع من عمليات التصنيع. كما أن هذه الدقة تساعد في تجفيف الرقائق بعد التنظيف، حيث تساعد استقرار درجة الحرارة في منع تشوه الأنماط وظهور علامات مائية.
بعض الملاحظات العملية:
يمكن تركيب الجهاز في أجهزة الطلاء/التسخين القائمة. ستحتاج إلى مصدر طاقة مناسب ومسار للتهوية للحفاظ على استقرار درجة الحرارة والامتثال لمعايير الغرف النظيفة. عملية الضبط سريعة، فقط قم بتعديل إعدادات الجهاز لتتناسب مع خصائص المادة المستخدمة في الطباعة. بمجرد الضبط، يمكن للجهاز العمل بدون الحاجة إلى تعديلات إضافية. لكن إذا غيرت سمك المادة المستخدمة أو قدرتها على امتصاص الضوء، فعليك إعادة ضبط الجهاز للحفاظ على دقة الإخراج عند ±0.1 درجة مئوية.