ফ্যাব ফ্লোরে, ফটোরেসিস্ট বেক করার প্রক্রিয়াটি কোনো সাধারণ উষ্ণীকরণ প্রক্রিয়া নয়। এটা হলো এমন একটি তাপীয় প্রক্রিয়া, যা প্রতিটি ওয়েফারের গুণমান নির্ধারণ করে। সফ্ট বেক বা হার্ড বেক প্রক্রিয়ায় ১°C এর পরিবর্তনও ওয়েফারের গুণমানকে প্রভাবিত করে; এর ফলে ওয়েফারে অপশিষ্ট পদার্থ জমে যায় এবং কণার সংখ্যাও বৃদ্ধি পায়। আমরা আমাদের ওয়েফার ইনফ্রারেড হিটিং সিস্টেমটিকে এই ধরনের পরিবর্তনগুলো দূর করার জন্য ডিজাইন করেছি।
এখানে যা গুরুত্বপূর্ণ তা হলো:
আমরা কোয়ার্টজ ইমিটার উইন্ডো ব্যবহার করে শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড ব্যবহার করি। ক্লোজড-লুপ পাইরোমেট্রির সাহায্যে ওয়েফারের তাপমাত্রা ±0.1°C এর মধ্যে বজায় থাকে। তাপমাত্রা ৩ সেকেন্ডের মধ্যেই স্থিতিশীল হয়ে যায়; ফলে উচ্চ-গতির লিথোগ্রাফি প্রক্রিয়াগুলোতে কোনো বিলম্ব হয় না। নিয়ন্ত্রণটি 0.1°C রেজোলিউশনে করা হয়; আর মাল্টি-পয়েন্ট ক্যালিব্রেশনের মাধ্যমে ওয়েফারের গুণমান নিয়ন্ত্রণ করা হয়।
হট জোনটি ক্লিনরুম-সংগত ক্লাস 1–100 অনুযায়ী তৈরি করা হয়েছে। এখানে কম পরিমাণে গ্যাস নির্গত হয়; ল্যামিনার এয়ারফ্লো ব্যবস্থা রয়েছে; আর ইন-সিটু মেট্রোলজির মাধ্যমে কোনো কণা উৎপন্ন হয় না তা নিশ্চিত করা হয়। পাওয়ার সরবরাহ 24 V DC; ইএমআই-সংরক্ষণ ব্যবস্থা রয়েছে। ইন্টারফেসটি SECS/GEM অনুযায়ী তৈরি করা হয়েছে, যাতে এটি লাইন ইন্টিগ্রেশনের জন্য উপযোগী হয়।
আপনার দরকার এমন একটি হিটিং সিস্টেম, যা ২৪/৭ ঘণ্টা কাজ করতে পারে।
আমাদের ইনফ্রারেড হিটারটি ৫০,০০০+ ঘণ্টা কাজ করেও ৫% এরও কম আউটপুট ড্রিফট দেখায়। এটা কন্টিনিউয়াস ডিউটিতেও কাজ করতে পারে। সফ্ট বেক ও হার্ড বেক প্রক্রিয়াগুলো ঠিকমতো কাজ করে; ফলে ওয়েফারের গুণমান বজায় থাকে। দ্রুত প্রতিক্রিয়ার ফলে ওয়েফারগুলোর মধ্যে বিরতি কমে যায়; আর স্থিতিশীল সেটপয়েন্টের ফলে অপচয় ও পুনর্কাজ কমে যায়। শক্তি ব্যবহারও কমে যায়, কারণ ইমিটারটি শুধুমাত্র প্রয়োজনেই গরম হয়।
কয়েকটি ব্যবহারিক বিষয়:
ইমিটার উইন্ডোটি ক্লিনরুম-সংগত রক্ষণাবেক্ষণ প্রক্রিয়ার অধীনে থাকা উচিত—যাতে ট্রান্সমিশন স্থিতিশীল থাকে। ইনস্টলেশনটি সহজ; কিন্তু তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণের জন্য এটিকে ২৪ V ভোল্টেজ সরবরাহ ও সঠিক গ্রাউন্ডিং দেওয়া উচিত। টুলটির SECS/GEM প্যারামিটারগুলোকে আপনার হোস্ট সিস্টেমের সাথে মিলিয়ে নিলেই ভালো ফলাফল পাওয়া যাবে।