Požadavek na přesnost 0,1 °C V továrnách na výrobu polovodičů není možné si pohrát s teplotním režimem – je to pevně stanovené. Proto jsme vyvinuli...

V provozu lze náhodné změny nastavené teploty během procesů Soft Bake nebo Hard Bake zničit celý výrobní proces. Profily fotorezistů se mění,...