Den Albtraum beenden: Ihre Wafer sauber halten, wenn die Heizgeräte versagen
In einer Hochlast-Semikonduktorenanlage bedeutet das Ausfallen einer Lampe nicht nur lästige Stillstände – es ist eine Katastrophe. Wenn eine Quarzröhre in der Vakuumkammer platzt, muss man sich nicht nur mit einem kaputten Teil auseinandersetzen, sondern auch mit Glassplittern und Gasentwicklungen im ganzen Raum. Die Wafer werden verschmutzt – und der ganze Tag ist ruiniert.
Wir haben unsere Vakuum-Infrarotheizer speziell entwickelt, um das zu verhindern.
Die Unordnung in Schach halten
Wir verwenden hochreinen synthetischen Quarz – schließlich kann dieser die Hitze bei schnellen Wechseln aushalten, ohne zu zerbrechen. Doch wir verlassen uns nicht nur auf das Glas selbst. Wir fügen außerdem einen schützenden Umhüllungsring hinzu. Stellen Sie sich das wie ein Sicherheitsnetz vor. Falls das Innenseil der Röhre versagt und die Röhre zerbricht, fängt der Umhüllungsring die Bruchstücke auf. So werden die Splitter davon abgehalten, durch den Raum zu fliegen. Anstatt die gesamte Kammer reinigen zu müssen und dadurch den Ertrag zu beeinträchtigen, muss man sich nur mit einer defekten Lampe auseinandersetzen.
Wärme sowie Stress kontrollieren
Bei hohem Leistungsbedarf leiden die Dichtungen stark. Um Lecks an den Stellen zu vermeiden, wo der Heizer auf die Hardware trifft, verwenden wir verstärkte Endkappen. Außerdem nutzen wir goldbeschichtete Reflektoren. Diese lenken die Infrarotenergie genau dorthin, wo sie benötigt wird – nämlich auf die Wafer – und halten sie davon ab, die Wände der Kammer zu erreichen. Dadurch bleiben die umliegenden Komponenten kühler – was wiederum dazu führt, dass alles länger funktioniert.
Ein kleiner Tipp: Bitte halten Sie sich an unsere Spannungsangaben. Es ist verlockend, die Spannung erhöhen zu wollen, um mehr Wärme zu erzeugen – doch das führt nur zum Versagen der Lampe. Damit ruinieren Sie die Lebensdauer des Fadens und sind wieder am Anfang.
Der faire Kompromiss
Der Vorteil des Umhüllungsringes ist, dass dadurch eine zusätzliche Schicht zwischen der Wärmequelle und dem Zielobjekt entsteht. Dadurch geht etwas an Infrarotstrahlung verloren. Möglicherweise müssen Sie die Leistung erhöhen oder den Heizer etwas näher an die Wafer bringen, damit die gewünschten Temperaturwerte erreicht werden. Doch das ist ein geringer Preis für die Sicherheit – schließlich soll verhindert werden, dass ein einzelnes defektes Gerät die ganze Charge zerstört.