En la planta de fabricación, el proceso de secado del fotorreactivo no es algo sencillo; se trata de un proceso térmico que determina la calidad del producto, uno por uno. Un cambio de 1°C en la temperatura de secado puede afectar negativamente la precisión de los parámetros relacionados con el CD, además de causar la formación de impurezas y elevar el número de partículas indeseadas. Por eso, hemos diseñado nuestro sistema de calentamiento por infrarrojos para eliminar esta variabilidad.
Lo importante aquí es la precisión en el control de temperaturas. Utilizamos infrarrojos de onda corta, con una ventana emisora de cuarzo. La pirometría de bucle cerrado permite mantener una uniformidad de temperatura de ±0.1°C en toda la superficie de la oblea. La temperatura se estabiliza en menos de 3 segundos, lo que permite trabajar a alto ritmo sin tener que esperar a que la temperatura se alcance el valor deseado. El control se realiza con una precisión de 0.1°C, y la calibración se realiza mediante perfiles específicos para cada oblea.
La zona de calor está diseñada para operar en entornos de clase 1-100: materiales con baja emisión de gases, flujo de aire laminar y cero generación de partículas, todo ello verificado mediante mediciones in situ. La alimentación eléctrica es de 24 V CC, con protección contra interferencias electromagnéticas. La interfaz está preparada para integrarse con sistemas SECS/GEM.
Necesita un sistema de calentamiento fiable, que funcione sin problemas, 24/7. Nuestro calentador por infrarrojos funciona más de 50,000 horas sin que haya una desviación superior al 5% en su rendimiento. Además, puede funcionar continuamente sin necesidad de enfriamiento forzado. El secado se realiza de manera precisa, lo que reduce la cantidad de defectos. La rápida respuesta del sistema reduce el tiempo de inactividad entre procesos, y el punto de temperatura estable reduce la cantidad de productos defectuosos y la necesidad de re trabajo. El consumo energético disminuye, ya que el emisor se enciende solo cuando es necesario, y no en modo de espera.
Algunas notas prácticas: La ventana emisora requiere un plan de mantenimiento adecuado, como protocolos de limpieza e inspecciones periódicas, para mantener una transmisión estable. La instalación es sencilla, pero es necesario contar con una línea de alimentación de 24 V y una conexión a tierra sólida para garantizar la precisión del control de temperatura. Ajuste los parámetros SECS/GEM del dispositivo según sus necesidades, y obtendrá resultados consistentes, independientemente de las lotes, días o etapas de producción.