نیاز به دقت ۰.۱ درجه سانتیگراد
در کارخانههای تولید ویفرها، میزان گرمای تولید شده چیزی نیست که بتوان با آن بازی کرد؛ این میزان از قبل تعیین شده است. به همین دلیل، لامپهای RTP مورد استفاده در این کارخانهها طوری طراحی شدهاند که دما را در محدوده ۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ کنند. چنین کنترلی باعث میشود که فرآیند تولید به خوبی انجام شود و از هدر رفتن منابع مالی جلوگیری شود.
جزئیات فنی: توان، ولتاژ و ابعاد
ما توان زیادی را در فضای کوچکی جای دادهایم. ورودی ۴۰۰ ولتی به ما امکان میدهد تا توان زیادی را از طریق لوله ۳۰۰ میلیمتری عبور دهیم، در حالی که جریان الکتریکی کنترل شده باقی میماند. این امر باعث میشود که از کابلهای کوچکتری استفاده شود و فشار کمتری بر روی ترمینالها وارد شود.
در حالت ۲۵۰۰ وات، دما به سرعت افزایش مییابد؛ این امر باعث صرفهجویی در زمان فرآیند تولید میشود. طول لوله ۳۰۰ میلیمتری نیز مناسب استفاده در محفظههای استاندارد RTP میباشد؛ بنابراین نیازی به تغییرات خاصی نیست.
اما معایب این روش این است که تمام این توان در فضای کوچکی قرار دارد؛ بنابراین سیستمهای خنککننده و اتصالات الکتریکی باید قابلیت کافی برای مقابله با این شرایط را داشته باشند.
مواد، طراحی و اتصالات
درون لامپ، یک پوشش کوارتزی وجود دارد که پر از هالوژن است. چرخه هالوژنی باعث میشود فیلامنت تمیز و پایدار بماند؛ همچنین از سیاه شدن فیلامنت و کوتاه شدن عمر لامپ جلوگیری میکند. لایه بازتابنده ویژه نیز گرمای مادون قرمز را دقیقاً در محل مورد نیاز متمرکز میکند؛ بنابراین انرژی کمتری هدر میرود.
اتصالات R7s، طراحی مناسبی دارند و میتوانند گرمای زیاد را تحمل کنند. این اتصالات باعث میشود که تعویض لامپ به راحتی انجام شود و خطرات ناشی از گرمای بیش از حد کاهش یابد.
کاربردها و مزایای فنی
این لامپها برای فرآیندهای RTP در صنعت نیمههادی مناسب هستند؛ در این فرآیندها، کنترل دما و زمان کار بسیار مهم است. این لامپها باعث ایجاد یکنواختی در دما، افزایش سرعت فرآیند تولید، و نتایج قابل پیشبینی در هر بار استفاده میشوند.
نصب این لامپها بسیار ساده است؛ اتصالات R7s و ابعاد استاندارد، این لامپها را به جایگزینی مناسبی برای لامپهای موجود تبدیل میکند. تیمهای تعمیراتی میتوانند لامپها را به سرعت تعویض کنند؛ بنابراین زمان توقف فرآیند تولید کم خواهد بود.
از نظر هزینه، این لامپها عملکرد عالی را با زنجیره تأمین داخلی ارائه میدهند؛ شما میتوانید کنترل دقیق دما را در سطح ۰.۱ درجه سانتیگراد داشته باشید، بدون نیاز به هزینههای بیشتر برای واردات، و بدون کاهش کیفیت مواد یا طراحی لامپ.
اگر کار شما به استفاده از ابزارهای RTP وابسته است، این لامپ بهترین گزینه است. گرمای پایدار، تعمیرات آسان، و هزینههای قابل پیشبینی…