در خط تولید، ساعت اهمیتی ندارد؛ چرا که زمان کاری مهم نیست. اگر دمای پیشگرمایش کمی تغییر کند، این امر منجر به ایجاد حفرههایی در جوهر لحیم، عدم تطابقات، و کاهش بازدهی فرآیند میشود. بنابراین، نیاز به یک دستگاه پیشگرمایش وجود دارد که دمای مورد نظر را به درستی کنترل کند؛ یعنی دما را به عنوان یک محدودیت فرآیندی مهم در نظر بگیرد، نه چیزی که فقط میتواند مفید باشد.
آنچه ما ساختیم و چرا این کار مهم است
ما این دستگاه پیشگرمایش بدون سرب را بر اساس یک ایده ساختیم: کنترل قابل تکرار و قابل اندازهگیری. یکنواختی دما در سراسر ویفر در حد ±۰.۱ درجه سانتیگراد نگه داشته میشود؛ بنابراین هر قطعه از یک پایه دمایی یکسان شروع به کار میکند. سیستم گرمایشی از نور مادون قرمز با کنترل طیفی دقیق استفاده میکند؛ این روش باعث انتقال انرژی سریع و بدون ایجاد نقاط داغ میشود.
این دستگاه برای استفاده در اتاقهای پاک با سطح کنترل ۱ تا ۱۰۰ مناسب است؛ موادی با تصریف گاز کم، اتصالات بسته، و سطحی که از ایجاد ذرات جلوگیری میکند. این دستگاه برای کار ۲۴/۷ مناسب است؛ قطعات آن برای کار در شرایط سخت مناسب هستند، و حلقه کنترل آن حتی در صورت تغییر ولتاژ، دمای مورد نظر را حفظ میکند.
چرا این دستگاه در فرآیندهای تولید و بستهبندی مورد استفاده قرار میگیرد
پیشگرمایش، زمینه لازم برای فرآیندهای لیتوگرافی، پردازش جوهر لحیم، و فرآیندهای لحیمکاری را فراهم میکند. یکنواختی دما، از ایجاد تفاوتهای حیاتی در ابعاد ویفر جلوگیری میکند و کنترل بهتری بر عرض خطوط ایجاد میشود. عدم ایجاد ذرات، از ایجاد نقص در محصول جلوگیری میکند؛ همچنین، یکنواختی دما، زمان لازم برای آمادهسازی ویفرها را کاهش میدهد.
رفتار انرژی این دستگاه خوب است؛ دما به سرعت به مقدار مورد نظر میرسد، بدون ایجاد نویز. این کنترل دمای قابل تکرار، باعث کاهش مواد بیکاربرد و نیاز به بازسازی محصول میشود. برای تیمهای تجهیزاتی و خریدارانی که باید عملکرد دستگاه را تأیید کنند، این دستگاه به دلیل عملکرد قابل پیشبینی، کمترین تغییرات در پارامترها، و بازدهی قابل اطمینان، مناسب است.
چه چیزهایی را باید در نظر بگیرید
اگر میخواهید از قابلیتهای این دستگاه استفاده کنید، باید برای آن ولتاژ و سیستم زمینسازی جداگانه در نظر بگیرید؛ استفاده از منابع تغذیه مشترک با بارهای بالا، باعث ایجاد نویز میشود. فاصله بین دستگاه و ابزارهای دیگر نیز مهم است؛ همچنین، این دستگاه با روشهای استاندارد مدیریت ویفرها سازگار است، اما نیاز به زمان کافی برای تنظیم دستگاه و بررسی یکنواختی دما وجود دارد.