Sur le site de fabrication, le processus de séchage du photorésistant n’est pas une simple étape de réchauffement doux : c’est plutôt un paramètre thermique qui détermine la qualité des wafer, un par un. Une variation de 1°C pendant le processus de séchage peut entraîner des problèmes liés à la précision des dimensions du wafer, ainsi que l’apparition de particules indésirables. Nous avons conçu notre système de chauffage par infrarouges pour éliminer cette variabilité.
Voici ce qui est important en termes de fonctionnement technique : Nous utilisons des ondes infrarouges à courte longueur d’onde, avec une fenêtre émettrice en quartz. La pyrométrie en boucle fermée permet de maintenir une uniformité de température de ±0,1°C sur tout le wafer. La température atteint son niveau stable en moins de 3 secondes, ce qui permet de travailler efficacement dans des conditions de haute productivité, sans avoir à attendre que la température se stabilise. Le contrôle se fait avec une précision de 0,1°C, et la calibration s’effectue en fonction des profils spécifiques du wafer.
La zone de chauffage est compatible avec des environnements de classe 1–100 : les matériaux utilisés libèrent peu de gaz, le flux d’air est laminaire, et aucune particule ne se crée, comme le prouve la métrologie en temps réel. L’alimentation électrique est de 24 V DC, avec un blindage adapté pour minimiser les interférences électromagnétiques. L’interface est compatible SECS/GEM, ce qui permet son intégration dans les lignes de production.
Il faut disposer d’une chaleur fiable, disponible shift après shift, 24/7.
Notre chauffage par infrarouges peut fonctionner plus de 50 000 heures, avec une dérive de performance inférieure à 5%. Il peut fonctionner en continu, sans besoin de refroidissement par air forcé. Le processus de séchage se déroule de manière précise, ce qui permet de maintenir la qualité des wafer. La réponse rapide réduit le temps d’inactivité entre les différentes opérations, tandis que la stabilité de la température diminue les défauts produits. L’utilisation d’énergie est réduite, car l’émetteur s’allume uniquement lorsque c’est nécessaire, et non en permanence.
Quelques conseils pratiques : La fenêtre émettrice nécessite un plan de maintenance adapté aux environnements de classe 1–100 : un protocole de nettoyage et des inspections régulières sont indispensables pour maintenir une transmission stable. L’installation est simple, mais il est nécessaire de fournir une alimentation de 24 V et une bonne terre pour assurer la précision du contrôle de température. Il suffit de configurer les paramètres SECS/GEM de l’appareil en fonction de ceux du système hôte, afin d’obtenir une reproductibilité constante, quel que soit le lot ou la période.