בחדר הייצור, תהליך החימום של הוופרים אינו פשוט חימום קל – זהו תהליך תרמי שקובע את איכות המוצר, וזאת עבור כל וופר בנפרד. שינוי של 1°C בטמפרטורת החימום יכול לגרום לשינוי ברמת ה-CD, להיווצרות של חומרים לא רצויים, ולעלייה במספר החלקיקים הלא רצויים. פיתחנו מערכת חימום באמצעות קרינה אינפרא-אדומה, כדי למנוע שינויים אלו.
מה שחשוב באמת הוא הדיוק בטמפרטורה. אנו משתמשים בקרינה אינפרא-אדומה בעלת גלים קצרים, ומערכת מדידה אוטומטית שומרת על רמת דיוק של ±0.1°C בכל וופר. הטמפרטורה מגיעה לרמה הרצויה תוך פחות מ-3 שניות, כך שניתן לעבוד בקצב גבוה מבלי לחכות לסיום תהליך החימום. השליטה בטמפרטורה נעשית בדיוק של 0.1°C, והמערכת מאפשרת כיול מדויק על סמך נתוני הוופר.
אזור החימום מתאים לשימוש בחדרי ייצור מסוג Class 1–100: החומרים שנמצאים באזור זה אינם פולטים גזים, יש זרימת אוויר אחידה, ואין ייצור של חלקיקים לא רצויים – דבר שנבדק באמצעות מדידות במקום. המערכת פועלת במתח של 24 V DC, עם מעטפת מגנה נגד הפרעות חשמליות. הממשק של המערכת מותאם לסטנדרט SECS/GEM, כך שניתן לשלב אותה במערכות ייצור אחרות.
אתם צריכים חימום אמין, שיפעל באופן עקבי, 24/7. מערכת החימום שלנו פועלת יותר מ-50,000 שעות, עם שינוי בהספק של פחות מ-5%. היא מסוגלת לעבוד באופן רציף, ללא צורך בקירור. תהליך החימום מתבצע באופן מדויק, כך שרמת ה-CD נשארת יציבה ורמת הפגמים יורדת. התגובה המהירה של המערכת מקצרת את זמן ההמתנה בין הוופרים, והטמפרטורה היציבה מפחיתה את כמות הפסולת והעבודה החוזרת. צריכת האנרגיה יורדת, מכיוון שהמערכת מחממת את הוופרים רק כשצריך, ולא במצב של המתנה.
כמה הערות פרקטיות: חלון הפלט של המערכת דורש תחזוקה בהתאם לתנאי חדר הייצור – יש לנקות אותו באופן קבוע כדי לשמור על רמת דיוק גבוהה. ההתקנה פשוטה, אך יש לספק למערכת מתח של 24 V וחיבור יציב לקרקע, כדי לשמור על דיוק בשליטה בטמפרטורה. יש להתאים את פרמטרי המערכת לפרמטרים של המערכות האחרות, כדי להבטיח עקביות בתוצאות הייצור.