בתהליך הליתוגרפיה, שינוי קל בטמפרטורה של 0.5°C יכול לגרום לשינוי של ננומטרים בקצוות הערוצים המיקרופלואידיים – ושינוי זה עלול לגרום לירידה באיכות המוצר. לכן פיתחנו מנורה מיוחדת לייצור מכשירים מיקרופלואידיים, שנועדה למנוע שינויים אלו, כך שפרופילי החומר הפוטורזיסטי יישארו בטווח המותר, מהווהר הראשון ועד האחרון.
הנה הדברים החשובים מבחינה טכנית: המנורה משתמשת באלמנטים הלוגניים בעלי גל ארוך, הממוקמים מאחורי חלון קוורץ, כדי לאפשר חימום מהיר ויעיל. בנוסף, מערכת בקרה סגורה שומרת על אחידות הטמפרטורה ברמה של ±0.1°C. המנורה יכולה לפעול בחדרים נקיים מסוג Class 1–100, מכיוון שהמערכת התרמית שלה סגורה, וכך נמנעת ייצור של חלקיקים. האפשרות לחזרה על התהליך באופן עקבי קיימת 24/7, ופרופילי החומר הפוטורזיסטי נשמרים ללא צורך בהתאמות נוספות. צריכת האנרגיה של המנורה מתאימה לטווח הטמפרטורות הנדרש, ולא לערך המרבי, כך שהבזבוז אנרגיה נמנע.
למה זה עובד בתהליכים מיקרופלואידיים? מכשירים אלו דורשים גדלים אחידים של הערוצים ורמה נמוכה של פגמים על הפני השטח. המנורה מאפשרת שליטה על שלבי החימום, כך שהגדלים האלו נשמרים באופן אחיד. התוצאה היא פחות צורך בתיקונים, פחות חומרים לא תקינים, ובסיס תרמי יציב שמקצר את זמן האימות. אותה רמת دقة עוזרת גם בייבוש הווהר לאחר הניקוי, שכן יציבות הטמפרטורה מונעת קריסה של הדפוסים והופעת סימנים לא רצויים.
כמה הערות מעשיות: המנורה נועדה להתאים למערכות ציפוי/חימום קיימות. יהיה צורך במקור אנרגיה נפרד ובמערכת אוורור יעילה, כדי לשמור על יציבות הטמפרטורה ועל תנאי הניקיון הנדרשים. תהליך ההגדרה של המנורה הוא קצר – יש צורך רק להתאים את ערכי הטמפרטורה למאפייני החומר הפוטורזיסטי ולמאפייני הווהר. לאחר ההתאמה, המנורה פועלת ללא צורך בתיקונים נוספים. אך אם משנים את עובי החומר הפוטורזיסטי או את רמת החזרה של הווהר, יש צורך בהתאמה מהירה של המנורה, כדי לשמור על רמת הדיוק הנדרשת של ±0.1°C.