फैब फ्लोर पर
एक बेक प्रोफ़ाइल जो ड्रिफ्ट कर रही है, वह ध्यान आकर्षित नहीं करती। यह बस चुपचाप महत्वपूर्ण आयामों को कम करती है, फोटोरेसिस्ट को जलाती है, और स्क्रैप जमा करती है। जब आपका पुराना हीटर वेफर के चारों ओर समानता बनाए रखने में असमर्थ होता है, तो आपको एक और पैच की आवश्यकता नहीं होती। आपको थर्मल नियंत्रण की आवश्यकता होती है जो एक वास्तविक प्रक्रिया पैरामीटर की तरह कार्य करे, न कि एक वाइल्ड कार्ड।
तकनीकी दृष्टिकोण से क्या मायने रखता है
हमने इन्फ्रारेड रिप्लेसमेंट हीटर स्थापित किए हैं जो आपको सब-मिल्लीमीटर समान गर्मी प्रदान करते हैं, साथ ही पुनरावृत्त तापमान नियंत्रण भी। यही फोटोरेसिस्ट सॉफ्ट बेक और हार्ड बेक के लिए थर्मल स्थिरता के मामले में आवश्यक है। उत्सर्जक जल्दी से निशाने पर पहुंचते हैं, साफ गर्मी और तंग स्थानिक नियंत्रण के साथ, इसलिए आपको थर्मल लैग या हॉट स्पॉट नहीं मिलते। वेफर-लेवल समानता तंग टॉलरेंस के भीतर बनी रहती है, और सिस्टम हर बार एक ही थर्मल प्रोफ़ाइल को दोहराता है। लाभ: महत्वपूर्ण CDs स्पेक में रहते हैं, और बैच के दौरान लाइन-ऑफ-साइट हीटिंग समान बनी रहती है।
यह लिथोग्राफी में क्यों सफल होता है
लिथोग्राफी में, सॉफ्ट बेक तापमान सीधे फोटोरेसिस्ट की मोटाई को सेट करता है और एज बीड रिमूवल को नियंत्रित करता है। हार्ड बेक को पुनरावृत्त होना चाहिए ताकि अगले एच और इम्प्लांट चरणों में फिर से काम करने की आवश्यकता न पड़े। हमारे हीटर स्वैप थर्मल बजट को स्थिर बनाए रखता है, कण उत्पादन को कम करता है, और क्लीनरूम के अनुकूल रहता है, क्लास 1 से क्लास 100 तक। आपको कम एक्सकर्शन, ऐसा साइकल टाइम मिलता है जिसे आप योजना बना सकते हैं, और तेजी से रैंप रेट और कम आइडल पावर के कारण मापने योग्य ऊर्जा की बचत होती है।
यहां ध्यान में रखने वाली बातें
रिट्रोफिटिंग सीधा है, लेकिन ऑप्टिक्स और उत्सर्जक लेआउट को उपकरण की ज्यामिति और क्लियरेंस से मेल खाना चाहिए। अपने उपकरण दस्तावेज़ीकरण के खिलाफ माउंटिंग, पावर कनेक्शन और इंटरलॉक्स की जांच करें। शीर्ष प्रदर्शन के लिए, रिफ्लेक्टर संरेखण और क्लीनरूम के अनुकूल शील्डिंग की पुष्टि करें, और दीर्घकालिक पुनरावृत्ति बनाए रखने के लिए समय-समय पर उत्सर्जक आउटपुट की जांच को शेड्यूल में शामिल करें।