On the lithography floor, फोटोरेसिस्ट प्रोफ़ाइल एक्सपोज़र से पहले ही सेट हो जाती है। सॉफ्ट बेक या हार्ड बेक के दौरान आधा डिग्री का भी बदलाव थर्मल बजट को प्रभावित करता है, और आपका क्रिटिकल डाइमेंशन कंट्रोल भी प्रभावित होता है। हमने अपने ओज़ोन-फ्री इन्फ्रारेड लैंप्स इस तरह बनाए हैं कि वे उस बदलाव को तुरंत रोक दें, और प्रक्रिया को ठीक उसी जगह दोहराए जाने वाला तापमान प्रदान करें जहाँ इसकी आवश्यकता होती है—वही वाफर पर।
तकनीकी दृष्टि से महत्वपूर्ण
हम शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड एमिटर का उपयोग करते हैं जिनमें क्वार्ट्ज ऑप्टिक्स होते हैं, इसलिए हीटिंग लाइन-ऑफ-साइट होती है और थर्मल रिस्पांस सब-सेकंड स्तर का होता है। आउटपुट फोटोरेसिस्ट के अवशोषण के अनुरूप ट्यून किया गया है, जिसका मतलब है कि वाफर सतह सेटपॉइंट तक तेजी से पहुँचती है जबकि चक ठंडा रहता है।
बेक ज़ोन में वाफर-लेवल यूनिफॉर्मिटी ±0.1°C के भीतर बनी रहती है, और बैच से बैच तापमान की पुनरावृत्ति ±0.2°C से कम रहती है। सिस्टम ओज़ोन-फ्री है, इसलिए क्लीनरूम में ऑक्सीकरण की चिंता नहीं करनी पड़ती, और कणों की संख्या कम रहती है। यह 24/7 स्थिर आउटपुट के साथ चलता है; यूनिट्स ने 5,000+ घंटे काम किया है जिसमें तीव्रता में 5% से कम की गिरावट देखी गई है।
वाफर प्रोसेसिंग में यह क्यों काम करता है
बेक स्टेप वह आधार तैयार करता है जिस पर आगे की प्रक्रियाएँ—एचिंग और डेवलपमेंट—निर्भर करती हैं। हमारे लैंप सॉफ्ट बेक और हार्ड बेक के समय को बिना ओवरशूट के कम करते हैं, जिससे आप प्रोफ़ाइल कंट्रोल खोए बिना साइकिल समय को संकुचित कर सकते हैं।
क्लीनरूम क्लास 1–100 के अनुरूप, शून्य कण उत्पादन, और लंबी लैंप लाइफ का मतलब है कि फर्श पर कम अप्रत्याशित रुकावटें होती हैं: कम अनियोजित डाउनटाइम और कम स्पेयर पार्ट्स इन्वेंटरी में बंधे होते हैं। ऊर्जा की खपत भी घटती है—तेज थर्मल रिस्पांस और सटीक कंट्रोल से HVAC पर अतिरिक्त गर्मी का दबाव कम रहता है।
यहाँ आपको क्या जानना चाहिए
इंस्टॉलेशन के लिए वाफर प्लेन के साथ लाइन-ऑफ-साइट संरेखण आवश्यक है और स्पेक्ट्रल स्थिरता बनाए रखने के लिए समर्पित, फ़िल्टर्ड पावर फीड चाहिए। थर्मल संतुलन तक पहुँचने के लिए एक छोटा वार्म-अप अपेक्षित है; बेक रेसिपी को उसके अनुसार शेड्यूल किया जाना चाहिए।
लैंप अधिकांश मानक वाफर चक के साथ काम करते हैं, लेकिन यदि आप लेगेसी ट्रैक्स के साथ इंटीग्रेट कर रहे हैं, तो कस्टम ब्रैकेट और कैलिब्रेशन रूटीन की आवश्यकता हो सकती है। अपने फोटोरेसिस्ट स्टैक के लिए सेटपॉइंट लॉक करने के लिए एक संक्षिप्त क्वालिफिकेशन रन की योजना बनाएं।