दुःस्वप्न को रोकना: हीटर खराब होने पर अपने वेफरों को साफ रखना
उच्च-लोड वाली सेमीकंडक्टर उपकरणों में, लैम्प के खराब होने से केवल थोड़ा समय का नुकसान ही नहीं होता; यह तो एक बड़ी समस्या है। यदि वैक्यूम चैंबर में क्वार्ट्ज ट्यूब फट जाती है, तो आपको केवल खराब हुए घटकों की ही समस्या नहीं, बल्कि चारों ओर फैले काँच के टुकड़ों एवं गैसों की भी समस्या का सामना करना पड़ता है। इससे आपके वेफर दूषित हो जाते हैं, और आपका काम भी बर्बाद हो जाता है।
हमने ऐसी स्थितियों को रोकने हेतु विशेष रूप से वैक्यूम इन्फ्रारेड हीटर बनाए हैं।
गंदगी को नियंत्रित करना
हम उच्च-शुद्धता वाले सिंथेटिक क्वार्ट्ज का उपयोग करते हैं; क्योंकि यह तेज गर्मी को सहन कर सकता है, बिना टूटने के। लेकिन हम केवल काँच पर ही भरोसा नहीं करते। हम एक सुरक्षात्मक कवर भी उपयोग में लाते हैं… इसे “सुरक्षा जाल” ही समझें। यदि आंतरिक फिलामेंट खराब हो जाता है, तो यह कवर टूटे हुए टुकड़ों को रोक देता है… इससे चारों ओर फैलने वाले काँच के टुकड़ों से बचा जा सकता है। इससे चैंबर की सफाई की आवश्यकता ही नहीं पड़ती, और आपको केवल खराब हुए लैम्प की ही समस्या से ही निपटना पड़ता है।
गर्मी एवं तनाव का प्रबंधन
जब उच्च शक्ति पर उपकरण चल रहा होता है, तो उसके सील खराब हो जाते हैं… इसे रोकने हेतु हम मजबूत एंड-कैपों का उपयोग करते हैं। हम सोने से लेपित रिफ्लेक्टरों का भी उपयोग करते हैं… ये इन्फ्रारेड ऊर्जा को ठीक वहाँ ही भेजते हैं, जहाँ उसकी आवश्यकता है… यानी वेफर की ओर… इससे चैंबर की दीवारों पर गर्मी नहीं पड़ती… इससे आसपास के उपकरण भी ठंडे रहते हैं… जिससे सब कुछ लंबे समय तक काम कर सकता है।
एक छोटी सी सलाह: कृपया हमारे निर्दिष्ट वोल्टेज मानकों का ही पालन करें… थोड़ी अधिक गर्मी पाने हेतु वोल्टेज बढ़ाना आकर्षक लगता है… लेकिन यह तो लैम्प के खराब होने का ही कारण बनेगा… ऐसा करने से फिलामेंट खराब हो जाएगा, और आप फिर से वहीं पहुँच जाएँगे, जहाँ से शुरू हुआ था।
वास्तविक त्याग
वास्तव में, इस सुरक्षात्मक कवर के कारण गर्मी स्रोत एवं वेफर के बीच एक अतिरिक्त परत आ जाती है… इस कारण लैम्प की तुलना में थोड़ी कम इन्फ्रारेड ऊर्जा ही वेफर तक पहुँच पाती है… ऐसी स्थिति में आपको शक्ति को थोड़ा बढ़ाना होगा, या हीटर को वेफर के थोड़ा निकट रखना होगा… यह तो एक छोटा सा त्याग है… लेकिन इससे आपका पूरा उत्पादन बर्बाद नहीं होगा।