Mengapa pabrik semikonduktor beralih dari oven konvensional ke lampu pengeringan inframerah
Selama ini, pabrik-pabrik semikonduktor mengandalkan oven konvensional dan bahan kimia berbahaya untuk proses pengeringan. Namun, situasinya mulai berubah. Semakin banyak pabrik yang beralih ke lampu pengeringan inframerah. Mengapa? Karena metode ini lebih cepat, lebih bersih, dan sesuai dengan tren penggunaan bahan-bahan yang bebas timbal serta ramah lingkungan.
Hentikan pemanasan udara
Coba pikirkan bagaimana cara kerja oven konvensional. Udara dipanaskan terlebih dahulu, lalu udara tersebut yang memanaskan wafer. Prosesnya lambat, dan merupakan pemborosan energi.
Inframerah berbeda. Radiasi yang dihasilkan oleh lampu inframerah langsung mengenai permukaan wafer. Kami menggunakan gelombang inframerah pendek dan sedang agar radiasi tersebut dapat menembus lapisan permukaan wafer secara efektif. Karena efisiensinya yang tinggi, kami tidak perlu lagi menggunakan pelarut berbahaya atau bahan kimia yang mengandung timbal untuk menurunkan titik leleh bahan tersebut.
Kecepatan dan masalah panas
Logam paduan bebas timbal membutuhkan suhu yang tinggi agar dapat membentuk struktur yang tepat. Untuk itu, kami menggunakan lampu dengan daya yang tinggi. Prosesnya sangat cepat—hanya dalam hitungan detik saja. Selain itu, peralatan yang digunakan juga membutuhkan ruang yang lebih sedikit di ruang bersih.
Namun ada tantangannya. Ketika energi yang dihasilkan begitu besar, suhu di sekitar wafer pun akan naik dengan cepat. Anda harus memastikan bahwa sistem pendinginan berfungsi dengan baik. Jika panas tersebut tidak dikeluarkan, maka wafer bisa rusak, dan itu merupakan situasi yang tidak diinginkan siapa pun.
Menjaga kebersihan
Yang terbaik adalah bahwa sistem inframerah sangat bersih. Tidak ada produk sampingan dari proses pembakaran, dan tidak perlu menyaring aliran udara yang berbahaya. Udara panas juga tidak akan mengganggu lingkungan yang steril, sehingga jumlah partikel berbahaya yang masuk ke tempat yang seharusnya tidak masuk pun berkurang.
Dan ketika lampu tersebut rusak? Sangat mudah untuk menggantinya. Cukup cabut tabung lampu lama, ganti dengan yang baru, periksa koneksi-koneksinya untuk memastikan tidak ada oksidasi, lalu langsung digunakan kembali. Tidak perlu sistem pembersihan kimia yang rumit, hanya perlu pergantian tabung lampu yang sederhana saja.