Di fasilitas produksi, proses pemanasan fotoresist bukanlah sekadar proses pemanasan yang lembut saja. Sebenarnya, proses ini merupakan faktor penentu kualitas produk, satu wafer demi satu wafer. Perubahan suhu sebesar 1°C selama proses pemanasan dapat menyebabkan perubahan nilai CD, munculnya kotoran pada permukaan wafer, serta peningkatan jumlah partikel yang tidak diinginkan. Kami telah merancang sistem pemanas IR khusus untuk mengatasi ketidakteraturan tersebut.
Berikut adalah hal-hal penting yang perlu diperhatikan: Kami menggunakan sinar IR berfrekuensi tinggi dengan window emiter berbahan kuarsa. Sistem pengukuran suhu berbasis loop tertutup memastikan keseragaman suhu pada setiap wafer hingga ±0,1°C. Suhu akan mencapai titik stabil dalam waktu kurang dari 3 detik, sehingga proses litografi dapat berjalan dengan cepat tanpa harus menunggu proses pemanasan selesai. Kontrol suhu dilakukan dengan akurasi 0,1°C, dan kalibrasi dilakukan secara berkala untuk memastikan keakuratan pengukuran.
Zona pemanasan dirancang agar sesuai dengan standar ruang bersih kelas 1–100: bahan-bahan yang digunakan memiliki tingkat emisi gas yang rendah, aliran udara yang terkontrol, dan tidak ada partikel yang dihasilkan, sebagaimana yang dibuktikan melalui pengukuran in-situ. Daya yang digunakan adalah 24 V DC, dengan lapisan pelindung yang efektif terhadap gangguan EMI. Antarmuka perangkat juga sudah siap untuk integrasi dengan sistem SECS/GEM.
Anda membutuhkan sistem pemanas yang dapat diandalkan, 24 jam sehari, tujuh hari seminggu. Pemanas IR kami dapat beroperasi selama lebih dari 50.000 jam tanpa adanya penurunan kinerja lebih dari 5%. Pemanas ini mampu bekerja secara kontinu tanpa memerlukan proses pendinginan. Proses pemanasan yang tepat memastikan bahwa nilai CD tetap stabil, sehingga tingkat cacat pada wafer pun berkurang. Respons cepat dari pemanas ini mengurangi waktu tunggu antara setiap proses pemrosesan wafer, sehingga mengurangi limbah dan kebutuhan untuk membuat ulang wafer. Penggunaan energi juga berkurang, karena pemanas hanya aktif saat diperlukan, bukan saat dalam keadaan siaga.
Beberapa hal praktis yang perlu diperhatikan: Window emiter membutuhkan perawatan yang sesuai dengan standar ruang bersih—prosedur pembersihan dan inspeksi berkala—untuk menjaga stabilitas transmisi sinar IR. Pemasangan perangkat ini cukup sederhana, tetapi diperlukan kabel 24 V yang berkualitas baik serta sistem grounding yang efektif untuk menjaga akurasi kontrol suhu. Pastikan parameter SECS/GEM perangkat sesuai dengan spesifikasi perangkat utama Anda, sehingga hasil pengukuran akan tetap konsisten, baik dalam jangka pendek maupun jangka panjang.