Di lantai produksi, profil pemanggangan yang menyimpang tidak mencolok. Ia hanya secara diam-diam mengurangi dimensi kritis, membakar fotoresist, dan menumpuk limbah. Ketika pemanas lama Anda tidak dapat mempertahankan uniformitas di seluruh wafer, Anda tidak memerlukan tambalan lain. Anda memerlukan kontrol termal yang bertindak seperti parameter proses yang sebenarnya, bukan kartu liar.
Apa yang penting, secara teknis
Kami telah mengganti pemanas pengganti inframerah yang memberikan panas uniform sub-milimeter, dengan kontrol suhu yang dapat diulang. Itu persis apa yang diminta oleh soft bake dan hard bake fotoresist dalam hal stabilitas termal. Pemancar mencapai target dengan cepat, dengan pemanasan yang bersih dan kontrol spasial yang ketat, sehingga Anda tidak mengalami lag termal atau titik panas. Uniformitas tingkat wafer tetap dalam toleransi yang ketat, dan sistem mengulangi profil termal yang sama dari satu proses ke proses lainnya. Hasilnya: CD kritis tetap dalam spesifikasi, dan pemanasan garis pandang tetap konsisten di seluruh batch.
Mengapa ini berhasil dalam litografi
Dalam litografi, suhu soft bake secara langsung menentukan ketebalan fotoresist dan membuat pengangkatan edge bead berfungsi. Hard bake harus dapat diulang agar langkah etching dan implantasi berikutnya tidak memaksa pekerjaan ulang. Pertukaran pemanas kami menjaga anggaran termal tetap stabil, mengurangi pembentukan partikel, dan tetap kompatibel dengan ruang bersih dari Kelas 1 hingga Kelas 100. Anda akan mengalami lebih sedikit penyimpangan, waktu siklus yang dapat Anda rencanakan, dan penghematan energi yang terukur berkat laju pemanasan yang lebih cepat dan daya menganggur yang lebih sedikit.
Berikut adalah yang perlu diingat
Retrofit itu sederhana, tetapi tata letak optik dan pemancar harus cocok dengan geometri dan jarak alat. Periksa pemasangan, koneksi daya, dan interlock terhadap dokumentasi peralatan Anda. Untuk kinerja terbaik, konfirmasikan penyelarasan reflektor dan pelindung yang kompatibel dengan ruang bersih, dan jadwalkan pemeriksaan output pemancar secara berkala untuk menjaga kemampuan ulang jangka panjang di tempat yang diperlukan.