Mengeringkan Wafer MEMS dengan Sinar Infra Merah: Mengapa Cara Ini Lebih Baik daripada Oven Konvensional
Jika Anda ingin membangun pabrik yang canggih dan modern, Anda tidak bisa terus menggunakan oven konvensional yang ketinggalan zaman. Kinerjanya terlalu lambat. Untuk mengeringkan wafer sensor MEMS, kita menggunakan sistem sinar infra merah berfrekuensi tinggi. Yang penting adalah kecepatan dan waktu responsnya—hal-hal yang sangat diperlukan ketika proses produksi berlangsung secara cepat.
Mengapa Sinar Infra Merah Efektif
Keuntungan utama dari penggunaan sinar infra merah adalah bahwa ia tidak membuang-buang waktu untuk memanaskan udara di sekitar wafer. Sinar inframerah langsung menyinari permukaan wafer. Hal ini sangat penting, karena sehingga peralatan lainnya tidak akan overheat. Selain itu, karena daya yang digunakan dapat dikontrol dengan tepat, maka sistem ini dapat terhubung langsung ke PLC. Jika ketebalan wafer berubah atau Anda ingin meningkatkan kecepatan produksi, Anda hanya perlu menyesuaikan dayanya secara real-time. Tidak perlu menunggu udara di sekitar wafer menjadi hangat terlebih dahulu.
Aspek Teknis Perangkat keras
Kami merancang pemanas ini agar mampu bertahan dalam kondisi ruang bersih yang ketat. Kami menggunakan kemasan kuarsa berkualitas tinggi agar tidak ada kontaminan yang merusak sensor. Kami juga berusaha mencapai densitas daya yang tinggi, sehingga proses pengeringan dapat berlangsung secepat mungkin.
Namun, perlu berhati-hati terhadap suplai daya. Jika tegangan yang digunakan tidak sesuai dengan spesifikasi lampu, maka lampu tersebut akan cepat rusak. Selain itu, tabung lampu ini menjadi sangat panas—bukan hanya di bagian wafer, tetapi juga di ujung tabungnya. Gunakan koneksi dan kabel yang tahan panas, agar terminalnya tidak meleleh akibat beban yang tinggi.
Kekurangan Penggunaan Sinar Infra Merah
Meskipun sinar infra merah sangat cepat—sekitar 60% lebih cepat daripada penggunaan udara panas—namun ada kekurangannya: sinarnya bersifat directional. Jika rak tempat wafer berada sedikit saja tidak tepat posisinya, maka akan ada daerah yang tidak mendapatkan panas yang cukup. Anda perlu memastikan geometri reflektornya tepat, agar panasnya bisa merata ke seluruh permukaan wafer.
Karena sistem ini memiliki kinerja yang sangat tinggi, maka perawatannya pun membutuhkan perhatian khusus. Anda perlu menjaga kebersihan tabung kuarsa dari segala jenis residu atau gas yang keluar dari tabung tersebut. Namun, hal ini merupakan harga yang harus dibayar demi kecepatan proses pengeringan.