Perché passiamo all’utilizzo della tecnologia di cura a raggi infrarossi nelle fabbriche
Quando si effettua l’ammodernamento di una sala pulita, di solito ci sono due aspetti fondamentali da considerare: evitare lo spreco di energia e ridurre le emissioni dannose. Per anni abbiamo utilizzato forni a convezione. Ma il problema è che questi forni consumano tantissima energia per riscaldare grandi quantità d’aria. È un metodo inefficace. Inoltre, far circolare tutta quell’aria aumenta il rischio di contaminazione dei componenti prodotti. Ecco perché abbiamo deciso di passare all’uso della tecnologia di cura a raggi infrarossi. Invece di riscaldare l’intera stanza, i raggi infrarossi agiscono direttamente sul substrato. Semplice.
Come funziona realmente
Immaginate il calore del sole sulla pelle in un giorno freddo: non è necessario che l’aria intorno sia calda per sentirsi al caldo. I raggi infrarossi utilizzano radiazioni elettromagnetiche per agire direttamente sullo strato di rivestimento o di fotoresist. Questo provoca una reazione chimica quasi istantanea. Il tempo di essiccazione diminuisce notevolmente. Inoltre, poiché questo metodo è molto efficiente, non è più necessario utilizzare sostanze chimiche per accelerare il processo di essiccazione. È quindi un metodo molto più ecologico, e l’impatto ambientale è decisamente minore.
Ottenere la precisione desiderata
Questi sistemi permettono di concentrare molta energia in uno spazio ridotto. È possibile regolare la lunghezza d’onda dei raggi infrarossi, passando da onde corte a onde medie, a seconda di quanto in profondità sia necessario che il calore agisca. Se si lavora su linee di produzione ad alta velocità, questo sistema è davvero utile: si può ridurre la dimensione del tunnel di essiccazione, ottenendo così più spazio disponibile.
I limiti (perché ci sono sempre dei limiti)
I raggi infrarossi non sono certo una soluzione magica. Il calore generato è intenso. Se si lavora con substrati sottili o delicati, è facile surriscaldare i bordi dei wafer. Bisogna quindi essere molto attenti. È necessario bilanciare la potenza delle lampade con la velocità di trasporto dei wafer e le zone di raffreddamento. Se il sistema di raffreddamento non riesce a gestire il carico termico, i wafer potrebbero risultare distorti. E nessuno vuole questo.
Adattare il sistema alle esigenze
Se già esiste un impianto elettrico adeguato, sostituire le vecchie unità a convezione con lampade a raggi infrarossi è piuttosto semplice. Non ci sono gas di combustione, né fumi. Si tratta di un processo pulito e elettrico, che soddisfa tutti gli standard ambientali mondiali.