リソグラフィ工程では、露光前にフォトレジストのプロファイルが設定されます。ソフトベークまたはハードベーク中の0.5度の温度ドリフトは熱予算を狂わせ、クリティカルディメンションの制御に影響を与えます。当社のオゾンフリー赤外線ランプは、まさにそのドリフトを抑制し、プロセスが必要とする場所、すなわちウェーハ上に正確かつ再現性のある熱を供給します。
技術的に重要な点
当社は短波長赤外線エミッターと石英光学系を使用しており、加熱は視線方向に限定され、熱応答は1秒未満です。出力はフォトレジストの吸収特性に合わせて調整されているため、ウェーハ表面は迅速に設定温度に達し、チャックは冷却されたままです。ベークゾーン全体でのウェーハレベルの均一性は±0.1℃以内に保持され、バッチ間の温度再現性は±0.2℃以下です。システムはオゾンフリーであるため、クリーンルーム内での酸化リスクがなく、粒子数も低く抑えられます。24時間365日の連続運転が可能で、ランプは5,000時間以上稼働しても出力低下は5%未満です。
ウェーハ処理における効果
ベーク工程は、その後のエッチングや現像工程のすべてを設定します。当社のランプはソフトベークおよびハードベーク時間をオーバーシュートなしで短縮できるため、プロファイル制御を損なわずにサイクルタイムの圧縮が可能です。クリーンルームクラス1〜100に対応し、粒子発生がゼロでランプ寿命が長いため、現場での予期せぬトラブルが減り、予備部品の在庫管理も効率化されます。エネルギー消費量も低減され、速い熱応答と厳密な制御により廃熱を空調設備に負担をかけずに抑えられます。
知っておくべきポイント
設置にはウェーハ面との視線方向のアライメントと、スペクトル安定性を維持するための専用かつフィルター付きの電源供給が必要です。熱平衡に達するまでの短いウォームアップ時間があり、ベークレシピはそれを考慮してスケジューリングしてください。ランプはほとんどの標準的なウェーハチャックに対応していますが、既存のトラックシステムに統合する場合はカスタムブラケットおよびキャリブレーションルーチンが必要になることがあります。フォトレジスト積層に対する設定値を確定するために、短時間の検証ランが推奨されます。