真空チャンバー用赤外線ヒーター

クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つために もし、クラス100の環境下で真空チャンバーを加熱する場合、その恐ろしさはご存知でしょう。ほんのわずかなほこりや有害なガスがあるだけで、ウェーハや光学コーティングがダメになってしまいます。本当にイライラしますよね。一般的な加熱素子では、安定し...