0.1℃という高精度が求められる理由 ウェーハ製造工場では、熱管理は何としても正確に行わなければなりません。それは絶対的な基準です。だからこそ、私たちはAlibaba RTPランプを開発しました。これにより、温度を0.1℃という極めて狭い範囲内に保つことができます。このような精度の高さがあるからこ...

ファブラインでは、ソフトベイクやハードベイクの際に設定値が不安定になると、工程が台無しになってしまいます。フォトレジストの特性が崩れ、CDコントロールも失われ、エッチングの選択性も乱れます。もしランプの性能が不十分だと、工程が終了する前にすでに熱的なバランスが崩れてしまいます。 重要なのは何か 私...