왜 우리가 공장에서 적외선 치료 방식을 사용하는가?
클린룸을 업그레이드할 때는 보통 두 가지 문제를 해결해야 합니다. 바로 에너지 낭비를 줄이고, 유해한 가스 배출을 막는 것입니다.
오랫동안 우리는 대류식 오븐을 사용해왔습니다. 하지만 문제는, 엄청난 양의 공기를 가열하기 위해 많은 에너지가 필요하다는 점입니다. 이는 비효율적인 방식입니다. 게다가 그렇게 많은 공기를 움직이면 웨이퍼에 오염물질이 달라붙을 가능성이 높아집니다.
그래서 우리는 적외선 치료 방식으로 전환했습니다. 방 전체를 가열하는 대신, 적외선이 직접 기판에 작용합니다. 간단하지 않나요?
실제 작동 원리
추운 날 태양광이 피부에 닿는 것을 생각해보세요. 주변 공기가 뜨거울 필요는 없습니다. 적외선은 전자기파를 이용해 코팅层이나 포토레지스트 층에 직접 도달합니다. 이로 인해 거의 즉시 화학 반응이 일어납니다. 그 결과, 경화 시간이 크게 줄어듭니다. 또한 효율이 높기 때문에, 용매를 사용하지 않아도 됩니다. 훨씬 더 깨끗한 작업 환경이 되며, 탄소 배출량도 줄어듭니다.
정밀도를 확보하는 방법
우리는 작은 공간 안에 많은 열을 집중시키도록 이러한 시스템을 설계합니다. 필요한 열의 깊이에 따라 파장을 조절할 수 있습니다. 긴 파장과 중간 파장을 번갈아 사용할 수 있습니다. 대량 생산을 할 때 이 방식은 매우 유용합니다. 건조 튜널의 크기를 줄일 수 있어, 공간을 절약할 수 있습니다.
단점
물론 적외선도 완벽한 해결책은 아닙니다. 열이 너무 강력할 수 있습니다. 얇거나 민감한 기판을 다룰 때는 웨이퍼의 가장자리가 과열될 수 있습니다. 주의해야 합니다. 램프의 출력과 컨베이어의 속도, 그리고 냉각 장치를 잘 조절해야 합니다. 만약 냉각 장치가 충분하지 않으면 웨이퍼가 변형될 수 있습니다. 그건 아무도 원하지 않는 결과입니다.
적용 방법
만약 전기 설비가 이미 구축되어 있다면, 기존의 대류식 장비를 적외선 램프로 교체하는 것은 상당히 간단합니다. 연소 가스도 없고, 유해한 배기가스도 없습니다. 오직 깨끗한 전기적 공정만으로도 환경 검사원들의 만족을 얻을 수 있으며, 모든 국제 표준을 충족합니다.