유해한 화학물질이 있는 곳에서 적외선 히터를 안전하게 사용하는 방법
반도체를 세척할 때는 마치 불장난을 하는 것과 같습니다. 주변에는 인화성 용매와 폭발성 화학물질들이 널려 있습니다. 이러한 환경에서는 작은 스파크나 히팅 요소의 단락만으로도 큰 재앙이 발생할 수 있습니다.
그래서 우리는 배선에 신경을 씁니다. 적외선 램프에는 테플론(PTFE) 선과 특수한 코팅재를 사용하여 어떤 문제도 일어나지 않도록 합니다.
왜 PTFE를 사용하는가?
일반적인 PVC나 실리콘 선을 사용하면 곧 망가집니다. 강한 세정제로 인해 선이 파괴됩니다. 하지만 PTFE는 다릅니다. 화학적으로 불활성이므로, 웨이퍼 세척에 사용되는 산이나 염기와 접촉해도 아무런 문제가 없습니다. 게다가 열에도 강합니다. 램프가 최대 전력으로 작동해도 PTFE는 녹지 않으며 이상한 연기도 발생하지 않습니다. 그저 제자리에 그대로 있으면서 전기를 제대로 전달해줍니다.
누출을 막는 방법
단순히 선을 감아두는 것으로는 부족합니다. 진짜 위험한 부분은 전선이 석영관과 만나는 부분입니다. 대부분의 히터가 여기서 고장 납니다. 이를 해결하기 위해 고급 밀봉제를 사용하여 그 부분을 완전히 밀봉합니다. 이렇게 하면 화학물질이 램프 내부로 들어오는 것을 막을 수 있습니다. 밀봉이 제대로 되지 않으면 화학물질이 램프 내부로 들어가 텅스텐 필라멘트를 부식시키거나 단자를 단락시킬 수 있습니다.
몇 가지 고려사항
물론 한 가지 단점이 있습니다. 테플론과 강력한 밀봉재를 사용하면 열 저항이 약간 증가합니다. 따라서 일반 선을 사용할 때보다 몇 초 더 시간이 걸립니다. 하지만 이는 안전을 위해 기꺼이 감수해야 할 대가입니다. PID 컨트롤러를 조절하여 이러한 지연을 보완해야 합니다. 그렇지 않으면 온도가 과도하게 상승할 수 있습니다.
클린룸에서의 사용
실제로 기계에 이 히터를 연결할 때는 PTFE 코팅이 큰 도움이 됩니다. 좁은 공간에서도 선을 굽혀도 절연체가 깨지지 않습니다. 이를 통해 히터가 위험한 환경에서 폭발을 유발하는 원인이 되는 것을 막을 수 있습니다. 제발, 정격 전압을 준수하고 접지가 제대로 되어 있는지 확인하세요. PTFE는 정전기가 축적될 수 있으니, 그런 일이 일어나지 않도록 주의해야 합니다.