0.1°C의 정밀도가 필요한 이유 웨이퍼 제조 공장에서는 열 관리가 매우 중요합니다. 이는 변동될 수 없는 고정된 값입니다. 그래서 우리는 알리바바 RTP 램프를 개발할 때 온도를 0.1°C라는 아주 미세한 수준으로 유지할 수 있도록 설계했습니다. 이러한 정밀한 제어...

제조 공정에서, 소프트 베이크나 하드 베이크 중에 설정된 온도가 일정하지 않으면 공정이 제대로 진행되지 않을 수 있습니다. 포토레지스트의 성능이 저하되고, CD 제어도 어려워지며, 에칭 과정에서의 선택성도 떨어집니다. 만약 램프가 제 역할을 하지 못한다면, 공정이 끝...