
Mengapa kilang pengeluaran semikonduktor beralih daripada menggunakan ketuhar konvensional kepada lampu penyembuhan inframerah
Selama ini, kilang-kilang pengeluaran semikonduktor bergantung pada ketuhar konvensional yang besar serta bahan kimia berbahaya untuk menyelesaikan proses pengeluaran. Namun keadaan kini telah berubah. Semakin banyak kilang yang beralih kepada penggunaan lampu penyembuhan inframerah. Mengapa? Kerana kaedah ini lebih cepat, lebih bersih, dan selaras dengan usaha untuk mengurangkan penggunaan bahan berbahaya serta memastikan proses pengeluaran yang mesra alam.
Tidak perlu memanaskan udara
Bayangkan bagaimana ketuhar konvensional berfungsi. Udara dipanaskan terlebih dahulu, kemudian udara tersebut akan memanaskan wafer. Proses ini lambat, dan ia merupakan pembaziran tenaga.
Lampu inframerah pula berbeza. Ia menggunakan radiasi yang tepat untuk memanaskan permukaan wafer. Kita menggunakan gelombang inframerah pendek dan sederhana untuk memanaskan permukaan wafer dengan cepat. Oleh kerana kaedah ini sangat efisien, kita tidak perlu menggunakan bahan kimia berbahaya atau fluks yang mengandungi plumbum untuk mencapai suhu yang diperlukan.
Kelajuan dan masalah haba
Logam tanpa plumbum memerlukan suhu yang tinggi untuk mencapai keadaan yang diinginkan. Untuk itu, kita menggunakan lampu yang memiliki kuasa yang tinggi. Prosesnya sangat cepat—dalam beberapa saat sahaja. Selain itu, peralatan yang digunakan juga mengambil ruang yang lebih sedikit di bilik bersih.
Namun, ada masalahnya. Apabila energi yang banyak digunakan, suhu di sekitar wafer akan meningkat dengan cepat. Jika sistem penyaluran udara tidak berfungsi dengan baik, wafer boleh menjadi rosak akibat suhu yang tinggi. Ini tentunya sesuatu yang tidak diinginkan oleh sesiapa pun.
Kekal bersih
Kelebihan utama sistem inframerah ialah ia sangat bersih. Tidak ada bahan buangan hasil pembakaran atau aliran udara yang perlu disaring. Udara panas juga tidak akan tersebar di persekitaran yang steril, sekali gus mengurangkan risiko zarah-zarah berbahaya masuk ke tempat yang tidak sepatutnya.
Apabila lampu rosak, ia mudah diganti. Cukup cabut lampu lama, pasang yang baru, periksa sambungan untuk memastikan tiada oksidasi, dan semuanya akan kembali normal. Tiada keperluan untuk menggunakan sistem pembersihan kimia yang rumit. Hanya perlu menukar lampu sahaja.