Di kilang pembuatan wafer ini, proses pemanasan bahan fotoresist bukanlah sesuatu yang boleh dianggap sebagai proses pemanasan biasa sahaja. Sebaliknya, suhu yang digunakan sangat penting untuk menentukan kualiti wafer tersebut. Perubahan suhu sebanyak 1°C semasa proses pemanasan akan menyebabkan perubahan pada nilai CD, serta menghasilkan zarah-zarah yang tidak diinginkan. Kami telah membangunkan sistem pemanasan IR khusus untuk mengatasi masalah ini.
Apa yang penting dalam sistem ini ialah penggunaan gelombang inframerah pendek melalui cermin emisitor berbahan kuarsa. Sistem pemantauan suhu yang canggih pula memastikan suhu wafer kekal stabil pada tahap ±0.1°C. Suhu dapat dicapai dalam masa kurang dari 3 saat, jadi ia membolehkan proses litografi berjalan dengan lancar tanpa perlu menunggu proses pemanasan selesai. Kontrol suhu dilakukan dengan ketepatan 0.1°C, dan proses kalibrasi dilakukan menggunakan profil yang sesuai dengan ciri-ciri wafer tersebut.
Zon pemanasan ini direka untuk digunakan dalam persekitaran bilik bersih kelas 1–100. Bahan-bahan yang digunakan bebas daripada gas berbahaya, aliran udara berlaku secara teratur, dan tiada zarah-zarah yang terbentuk, seperti yang disahkan melalui pengukuran di tempat. Kuasa yang diperlukan adalah 24 V DC, dengan lapisan pelindung yang efektif untuk mengurangkan gangguan elektromagnetik. Antaramuka sistem ini juga sesuai untuk integrasi dengan sistem SECS/GEM.
Anda memerlukan sistem pemanasan yang boleh diharapkan, 24/7, tanpa henti. Pemanas IR kami mampu beroperasi selama lebih dari 50,000 jam dengan penyimpangan output kurang dari 5%. Ia juga mampu beroperasi secara berterusan tanpa memerlukan penyejukan udara. Proses pemanasan yang tepat memastikan nilai CD tetap stabil, serta mengurangkan kecacatan pada wafer. Respons yang cepat meminimumkan masa tunggu antara setiap proses pembuatan wafer, manakala titik suhu yang stabil pula mengurangkan jumlah bahan buangan dan kerja-kerja pembaikan. Penggunaan tenaga juga berkurangan kerana pemanas hanya berfungsi apabila diperlukan, bukan secara berterusan.
Beberapa perkara praktikal yang perlu diperhatikan: Cermin emisitor perlu diselenggara dengan baik agar transmisi cahaya tetap stabil. Pemasangan sistem ini mudah, tetapi ia memerlukan sumber kuasa 24 V yang stabil serta sistem pengesan tanah yang efektif untuk memastikan ketepatan kawalan suhu. Pastikan parameter SECS/GEM alat ini sesuai dengan sistem hosnya, agar hasil yang diperoleh dapat diulang pada setiap pengeluaran.