Op de productielijn is het verhitten van de fotoresist geen eenvoudig proces – het bepaalt namelijk de kwaliteit van de producten, stuk voor stuk. Een verschil van 1°C tijdens het zachte of harde verhitten heeft invloed op de nauwkeurigheid en kan leiden tot fouten in de productie. We hebben ons IR-verwarmingssysteem zo ontworpen dat deze variabelen worden weggenomen.
Wat belangrijk is, is dat we gebruikmaken van kortegolflengte-IR-straling via een kwartsemitter. Dankzij de gesloten lusmeting blijft de temperatuur op het wafer op ±0,1°C stabiel. De temperatuur bereikt binnen 3 seconden zijn gewenste niveau, zodat u kunt meekomen met hoge productiesnelheden zonder te hoeven wachten op het afkoelen van het wafer. De controle vindt plaats met een resolutie van 0,1°C, en de kalibratie is mogelijk door gebruik te maken van profielen die zijn gegenereerd op basis van de waardes van het wafer zelf.
De hete zone is geschikt voor gebruik in een schone ruimte van klasse 1–100: er wordt gebruik gemaakt van materialen die weinig gas afgeven, er is sprake van een laminerale luchtcirculatie, en er wordt geen sprake van partikelvorming. De stroomvoorziening is 24 V DC, met bescherming tegen elektromagnetische interferentie. De interface is SECS/GEM-klaar, zodat het apparaat gemakkelijk kan worden geïntegreerd in bestaande systemen.
U hebt hitte nodig die u kunt vertrouwen, shift na shift, 24/7.
Ons IR-verwarmingssysteem werkt meer dan 50.000 uur lang met minder dan 5% afwijking in de prestaties. Het kan continu worden gebruikt, zonder dat er sprake is van een noodzakelijke koeling. Hierdoor blijft de nauwkeurigheid hoog en daalt het aantal defecten. De snelle reactietijd verkort de tijd tussen het verwerken van verschillende wafer. De stabiele temperatuur zorgt er bovendien voor dat er minder afval en herwerkwerk nodig is. De energieverbruik neemt af, omdat de emitter alleen werkt wanneer dit nodig is, en niet in rusttoestand.
Een paar praktische tips: Het emittervenster moet regelmatig worden onderhouden, zodat de transmissie stabiel blijft. Er moet ook goed worden gecontroleerd of alles correct werkt. De installatie is eenvoudig, maar er moet wel een aparte 24 V-leiding worden gebruikt, samen met een goede grondingsinstallatie, om de nauwkeurigheid van de temperatuurbeheersing te garanderen. Pas de SECS/GEM-parameter van het apparaat aan op die van uw systeem, zodat u consistentie krijgt over verschillende batches, dagen en productieprocessen.