
Op de lithografiefaciliteit kan zelfs een verschil van maar 0,5°C tijdens het verhitten van het materiaal ertoe leiden dat de randen van de microfluidische kanalen enkele nanometers verschuiven. Dit verschil heeft weer tot gevolg dat de kwaliteit van het eindproduct afneemt. We hebben onze apparatuur ontworpen om dit soort verschuivingen vanaf het begin te voorkomen, zodat de eigenschappen van het materiaal van de eerste tot de laatste plaat constant blijven.
Het belangrijkste technische aspect is dat de lamp gebruikmaakt van kortegolflange halogeen elementen achter een kwartsramen, zodat er snel en efficiënt wordt opgewarmd. Bovendien zorgt een gesloten controlecyclus ervoor dat de temperatuur op het niveau van de plaat op ±0,1°C blijft. De lamp kan worden gebruikt in schoonruimtes van klasse 1–100, omdat het systeem goed geïsoleerd is, waardoor er nauwelijks deeltjes worden gegenereerd. De reproduceerbaarheid van de resultaten blijft constant, ongeacht wanneer er wordt gewerkt. De energieverbruik past zich aan aan de vereisten van het proces, niet aan het maximale niveau, zodat het thermische budget goed behouden blijft.
In microfluidica is het belangrijk dat de afmetingen van de kanalen constant zijn en dat er weinig oppervlakdefecten zijn. De lamp zorgt ervoor dat de temperatuur tijdens het verhiten stabiel blijft, zodat de afmetingen van de kanalen constant blijven. Hierdoor kan er minder herwerk nodig zijn en kan de productie efficiënter verlopen. Dezelfde precisie is ook belangrijk bij het drogen van de platen na het reinigen, want hierdoor wordt voorkomen dat de structuur van de plaat verandert.
Een paar praktische tips: De lamp kan eenvoudig worden geïnstalleerd in bestaande apparaten voor het verhiten van materialen. Er is echter wel een aparte stroomvoorziening en een goede afvoer nodig om de temperatuurstabiliteit en de normen van de schoonruimte na te komen. Het instellen van de lamp duurt maar even; je hoeft alleen maar de ingestelde waarden aan te passen aan de eigenschappen van het materiaal en de plaat. Als je de dikte van het materiaal of de reflectiviteit van de plaat verandert, moet je de lamp opnieuw kalibreren om de reproduceerbaarheid op ±0,1°C te behouden.