Het voorkomen van nachtmerries: hoe je je wafers schoon houdt wanneer de verhitters uitvallen
In een systeem met hoge belastingen betekent het kapotgaan van een lamp meer dan alleen maar ergernis door stilstand. Het is een ramp. Als een kwartsbuis in de vacuümkamer barst, moet je niet alleen omgaan met een kapot onderdeel, maar ook met glasresten en uitgestoten gassen overal. Je wafers worden besmet en je dag is verpest.
We hebben onze vacuüminfraarverhitters speciaal ontworpen om dit te voorkomen.
Het beperken van de schade
We gebruiken synthetisch kwarts van hoge zuiverheid, omdat dit materiaal de hitte van snelle cycleringen kan weerstaan zonder te barsten. Maar we vertrouwen niet alleen op het glas. We voegen ook een beschermende huls toe. Denk erbij aan een soort veiligheidsnet. Als het binnenste filament kapotgaat en de buis barst, vangt de huls de brokstukken op. Hierdoor blijven de scherven niet door de kamer vliegen. In plaats van de hele kamer schoon te moeten maken en hierdoor grote verliezen te lijden, hoef je alleen maar om te gaan met een kapotte lamp.
Het beheersen van de hitte (en de spanning)
Wanneer je met hoge vermogens werkt, worden de afsluitingsmechanismen zwaar belast. Om lekken te voorkomen waar de verhitter in contact komt met de hardware, gebruiken we versterkte eindkapjes. We gebruiken ook goudcoateerde reflectoren. Deze zorgen ervoor dat de infraroodenergie precies daar terechtkomt waar het nodig is – op de wafers – en dat deze energetie niet richting de wanden van de kamer gaat. Hierdoor blijven de omliggende onderdelen koel, waardoor alles langer meegaat.
Een snelle tip: houd je aan onze voorschriften voor spanning. Het is verleidelijk om de spanning van de lamp te verhogen om meer hitte te krijgen, maar dat leidt tot schade aan de lamp. Je versnelt dan de slijtage van het filament en komt uiteindelijk weer terug bij af.
De eerlijke afweging
Het probleem is dat het toevoegen van deze beschermende huls betekent dat er nog een laag materiaal tussen de warmtebron en het doel ligt. Hierdoor neemt de transmissie van infraroodenergie iets af vergeleken met een gewone lamp. Mogelijk moet je de vermogenswaarde verhogen of de verhitter wat dichter bij de wafers plaatsen, zodat de gewenste temperatuur wordt behouden.
Het is een kleine prijs die je moet betalen. Je geeft wat efficiëntie op, zodat één kapotte buis je hele batch niet kan ruïneren.