Почему мы переходим на инфракрасные лампы сверхвысокой чистоты для процесса изготовления полупроводников
Давайте будем честны: конвекционные печи уже начинают считаться устаревшими устройствами. В области сушки и отверждения полупроводников наблюдается явный переход к использованию инфракрасных ламп сверхвысокой чистоты.
Речь идет не только о соблюдении правил, связанных с отсутствием свинца и экологичностью – хотя это тоже важно. Речь идет о способе передачи тепла. Вместо использования горячего воздуха инфракрасные лампы используют электромагнитное излучение, которое напрямую воздействует на поверхность материала. Таким образом не тратится энергия на нагрев больших объемов воздуха ради сушки пластинки.
Магия мгновенного нагрева
Секрет заключается в том, что в таких лампах используется вольфрамовая нить, расположенная внутри корпуса из высокочистого кварца. Как только включается лампа, возникает сильный поток тепла. Не нужно ждать, пока помещение нагреется. Это значительно снижает расходы на электроэнергию. Вы не тратите энергию на нагрев стенок устройства или воздуха вокруг него; энергия направляется прямо туда, где она нужна.
Чистота в процессе работы
Если вы следуете стандартам без использования свинца, то знаете, насколько проблематичным может быть процесс выделения газов. Старые нагреватели часто содержат сплавы или покрытия, которые при нагревании могут отслаиваться или выделять газы. Это серьезная проблема при работе с пластинками. Мы используем синтетический кварц с практически нулевым содержанием примесей. Он сохраняет чистоту. Нет никакого сгорания, нет вредных растворителей, и нет выбросов углерода прямо там, где происходит обработка. Просто все выглядит более чисто.
Проблемы при использовании
Конечно, все не так просто. Эти лампы выделяют огромное количество тепла в небольшом пространстве. Их нельзя просто вставить в старое устройство. Необходимо тщательно продумать систему охлаждения. Если система охлаждения не спроектирована правильно, это может привести к повреждению креплений ламп или самой лампы. Это требует тщательного планирования.
Еще один совет по подключению: используйте кабели с защитой от электромагнитных помех. Не нужно, чтобы ЭМИ мешала работе чувствительных датчиков. Это мелочь, но это может сэкономить вам массу проблем в будущем.