ในกระบวนการพิมพ์แบบลิโธกราฟี แม้ว่าอุณหภูมิจะเปลี่ยนแปลงเพียง 0.5°C เท่านั้น ก็สามารถทำให้ขอบของช่องทางไหลของของเหลวเปลี่ยนแปลงไปได้ถึงระดับนาโนเมตร และการเปลี่ยนแปลงนี้ก็ส่งผลให้เกิดการสูญเสียผลิตภัณฑ์ได้ เราจึงออกแบบเครื่องมือสำหรับการผลิตอุปกรณ์แบบไมโครฟลูอิดิกส์ขึ้นมา เพื่อหยุดยั้งการเปลี่ยนแปลงดังกล่าวตั้งแต่ต้นกระบวนการ ทำให้คุณสมบัติของฟอโตเรซิสต์ยังคงอยู่ในเกณฑ์ที่กำหนด ตั้งแต่แผ่นวัสดุแรกไปจนถึงแผ่นวัสดุสุดท้าย
สิ่งที่สำคัญทางด้านเทคนิคก็คือ เครื่องมือนี้ใช้หลอดไฟฮาโลเจนที่มีความยาวคลื่นสั้น ซึ่งอยู่หลังกระจกควอตซ์ เพื่อให้เกิดการทำความร้อนได้อย่างรวดเร็วและมีประสิทธิภาพ นอกจากนี้ ยังมีระบบควบคุมแบบวงจรปิด เพื่อรักษาความสม่ำเสมอของอุณหภูมิให้อยู่ในช่วง ±0.1°C เครื่องมือนี้สามารถใช้งานได้ในห้องปลอดฝุ่นระดับ Class 1–100 เนื่องจากมีระบบป้องกันการเกิดฝุ่นอย่างดี ความสามารถในการทำซ้ำผลลัพธ์ก็ยังคงอยู่ในเกณฑ์ที่ดีตลอดเวลา และคุณสมบัติของฟอโตเรซิสต์ก็ยังคงอยู่ในเกณฑ์ที่กำหนด โดยไม่จำเป็นต้องปรับแต่งอะไรเพิ่มเติม การใช้พลังงานก็ถูกควบคุมให้เหมาะสมกับกระบวนการผลิต ไม่ใช่ใช้พลังงานสูงสุด ดังนั้นจึงช่วยให้การควบคุมอุณหภูมิเป็นไปได้อย่างมีประสิทธิภาพ
เหตุผลที่เครื่องมือนี้เหมาะสำหรับการผลิตอุปกรณ์แบบไมโครฟลูอิดิกส์ก็คือ อุปกรณ์เหล่านี้ต้องการขนาดของช่องทางไหลที่สม่ำเสมอ และมีข้อบกพร่องบนพื้นผิวน้อยที่สุด เครื่องมือนี้ช่วยให้การทำความร้อนมีความสม่ำเสมอ ทำให้สามารถควบคุมขนาดของช่องทางไหลได้อย่างแม่นยำ และช่วยให้มุมของผนังช่องทางไหลมีความสม่ำเสมอ ผลลัพธ์ก็คือ มีการต้องทำงานใหม่น้อยลง มีของเสียน้อยลง และมีค่าอุณหภูมิที่คงที่ ซึ่งช่วยให้กระบวนการทดสอบเร็วขึ้น ความแม่นยำนี้ยังช่วยในการทำให้แผ่นวัสดุแห้งหลังจากการทำความสะอาดด้วย เพราะความสม่ำเสมอของอุณหภูมิจะช่วยป้องกันไม่ให้รูปแบบบนแผ่นวัสดุเปลี่ยนแปลงไป
ข้อควรระวังในการใช้งาน: เครื่องมือนี้สามารถนำมาใช้ร่วมกับเครื่องมือที่มีอยู่เดิมได้ แต่คุณจำเป็นต้องมีแหล่งจ่ายไฟที่เหมาะสม และระบบระบายอากาศที่ดี เพื่อรักษาความสม่ำเสมอของอุณหภูมิและความสะอาดของห้องปลอดฝุ่น การตั้งค่าเครื่องมือนั้นทำได้ง่าย เพียงแค่ปรับค่าตามความต้องการของฟอโตเรซิสต์และคุณสมบัติทางอุณหภูมิของแผ่นวัสดุเท่านั้น เมื่อปรับเสร็จแล้ว ก็สามารถใช้งานได้โดยไม่จำเป็นต้องปรับแต่งอะไรเพิ่มเติม แต่ถ้าคุณเปลี่ยนความหนาของฟอโตเรซิสต์หรือค่าการสะท้อนของแผ่นวัสดุ คุณจำเป็นต้องปรับเครื่องมืออีกครั้ง เพื่อรักษาความสม่ำเสมอของอุณหภูมิให้อยู่ในช่วง ±0.1°C