Neden yarı iletken üretim tesisleri eski fırınları bırakıp kızılötesi yöntemlerini tercih ediyor?
Uzun süre boyunca yarı iletken üretim tesisleri, işleri tamamlayabilmek için büyük konveksiyon fırınlarına ve bir sürü zararlı kimyasala güvendi. Ancak durum değişiyor. Giderek daha fazla üretim tesisi, kızılötesi yöntemlerini kullanmaya başlıyor. Neden mi? Çünkü bu yöntemler daha hızlı ve daha temizdir; ayrıca kurşunsuz ve çevre dostu olma eğilimine de uygundur.
Havayı ısıtmaya gerek yok
Geleneksel fırınların nasıl çalıştığını düşünün: Önce hava ısıtılır, ardından bu ısı wafer’ı ısıtır. Bu süreç yavaştır ve enerji israfıdır.
Kızılötesi yöntemi ise farklıdır. Lambalar, radyasyon yoluyla ışığı doğrudan fotorezist veya lehim macunu üzerine gönderir. Kısa dalga boylu ve orta dalga boylu kızılötesi ışınlar sayesinde yüzey tabakası anında eritilir. Bu yöntem çok verimli olduğu için, erime noktasını düşürmek için VOC içeren çözücülere veya kurşun içeren maddelere ihtiyaç duymayız.
Hız ve “Isı sorunu”
Kurşunsuz alaşımlar hassastır; doğru şekilde katılaşabilmeleri için yüksek sıcaklık gereklidir. Bunu sağlamak için, lineer inç başına yüksek watt değerine sahip lambalar kullanılır.
Bu yöntem çok hızlıdır; dakikalar yerine saniyeler içinde işlem tamamlanır. Ayrıca, ekipmanlar temiz odalarda çok daha az yer kaplar.
Ancak bir dezavantajı var: Bu kadar çok enerji kullanıldığında her şey hızla ısınır. Bu yüzden egzoz sistemlerinin işini layıkıyla yapması gerekiyor. Eğer wafer’in kenarlarındaki ısıyı uzaklaştıramazsanız, waferde bükülme meydana gelir ve bu da kimsenin istemediği bir durumdur.
Temiz kalması
En iyi yanı ne mi? Kızılötesi sistemler gerçekten temizdir. Yanma ürünleri veya filtrelenmesi gereken garip hava akımları yoktur. Steril bir ortamda sıcak hava yayılmaz; bu da parçacıkların istenmeyen yerlere gitmesini engeller.
Ve bir lamba sonunda bozulduğunda? Çok basit. Lambayı çıkarıp yerine yeni bir tane takarsınız, bağlantı noktalarında herhangi bir oksidasyon olup olmadığını kontrol edersiniz ve işe devam edersiniz. Karmaşık kimyasal temizleme sistemlerine veya baş ağrılarına gerek yok. Sadece basit bir değişim yeterli.