Litografi katında, pozitif rezist profili pozlama gerçekleşmeden önce ayarlanır. Yumuşak pişirme veya sert pişirme sırasında yarım derece kayma, termal bütçeyi bozar ve kritik boyut kontrolünüzle birlikte gider. Ozon içermeyen kızılötesi lambalarımızı, bu kaymayı durdurmak için tasarladık; işlemin ihtiyaç duyduğu ısıyı tam olarak, tekrarlanabilir şekilde wafer üzerinde sağlar.
Teknik olarak önemli olan
Kısa dalga kızılötesi yayıcıları kuvars optiklerle çalıştırıyoruz, böylece ısıtma doğrudan görüş hattı üzerindedir ve termal tepki süresi saniyenin altındadır. Çıkış, pozitif rezist emilimine göre ayarlanmıştır; bu da wafer yüzeyinin setpoint sıcaklığına hızlıca ulaşmasını sağlarken, chuck soğuk kalır.
Pişirme bölgesinde wafer seviyesinde uniformite ±0.1°C içinde korunur ve sıcaklık tekrarlanabilirliği parti bazında ±0.2°C’nin altındadır. Sistem ozon içermez; bu nedenle temiz oda ortamında oksidasyon endişesi olmaz ve partikül sayısı düşük kalır. 7/24 kararlı çıkışla çalışır; üniteler 5.000+ saatlik kullanımda %5’ten az yoğunluk düşüşü göstermiştir.
Wafer işleme sürecinde neden işe yarar
Pişirme adımı, sonrasındaki her şeyi—asilama ve geliştirme işlemlerini—hazırlar. Lambalarımız, yumuşak ve sert pişirme sürelerini aşım olmadan kısaltır; böylece profil kontrolünü kaybetmeden çevrim süresini sıkıştırırsınız.
Temiz oda Class 1–100 uyumluluğu, sıfır partikül üretimi ve uzun lamba ömrü, sahada beklenmedik durumları azaltır: planlanmamış duruşlar ve stokta bekleyen yedek parça miktarı düşer. Enerji tüketimi de azalır; hızlı termal tepki ve sıkı kontrol, atık ısının HVAC sistemine geçişini engeller.
Bilmeniz gerekenler
Kurulum, wafer düzlemine doğrudan görüş hattı hizalaması ve spektral kararlılığı sağlamak için filtreli, özel bir güç beslemesi gerektirir. Termal dengeye ulaşmak için kısa bir ısınma süresi beklenmelidir; pişirme tarifleri buna göre planlanmalıdır.
Lambalar çoğu standart wafer chuck ile uyumludur, ancak eski hatlarla entegrasyon yapılıyorsa özel bir bracket ve kalibrasyon prosedürü gerekebilir. Pozitif rezist katmanlarınız için setpoint değerlerini sabitlemek üzere kısa bir doğrulama çalışması planlayın.