На поверсі літографії профіль фоторезисту налаштовується ще до експозиції. Зсув у півградуса під час м’якого або твердого випікання порушує тепловий баланс, а разом із ним контроль критичних розмірів. Ми розробили наші безозонові інфрачервоні лампи, щоб зупинити цей зсув у зародку, забезпечуючи повторюване нагрівання точно там, де це потрібно процесу — безпосередньо на пластині.
Що має значення з технічної точки зору
Ми використовуємо короткохвильові інфрачервоні випромінювачі з кварцовою оптикою, тому нагрів відбувається по прямій видимості, а термальна реакція — за долі секунди. Спектр випромінювання налаштований на поглинання фоторезистом, що забезпечує швидке досягнення встановленої температури на поверхні пластини при збереженні охолодженого стану затиску.
Однорідність температури на рівні пластини утримується в межах ±0,1°C по зоні випікання, а повторюваність температури з партії в партію — у межах ±0,2°C. Система не генерує озон, отже немає ризику окислення в чистій кімнаті, а кількість часток залишається низькою. Лампи працюють цілодобово з стабільною потужністю; деякі одиниці вже відпрацювали понад 5 000 годин з падінням інтенсивності менш ніж на 5%.
Чому це ефективно у обробці пластин
Етап випікання задає умови для наступних процесів — травлення і проявлення. Наші лампи скорочують час м’якого та твердого випікання без перенагріву, що дозволяє зменшити тривалість циклу без втрати контролю над профілем.
Сумісність із чистими кімнатами класу 1–100, відсутність генерації часток і тривалий термін служби ламп знижують кількість несподіваних зупинок на виробництві та обсяг запасних частин на складі. Також зменшується енергоспоживання — швидка термальна реакція і точний контроль не допускають зайвого теплового навантаження на систему кондиціонування.
Що потрібно врахувати
Встановлення вимагає вирівнювання по прямій видимості до площини пластини та окремого, фільтрованого електроживлення для підтримання стабільності спектра. Варто передбачити короткий прогрів до теплової рівноваги; рецепти випікання слід планувати з урахуванням цього часу.
Лампи сумісні з більшістю стандартних затискачів для пластин, але при інтеграції з устаткуванням старого зразка може знадобитися спеціальний кронштейн і процедура калібрування. Плануйте короткий кваліфікаційний запуск для фіксації налаштувань під ваш стек фоторезисту.