Trong quy trình sản xuất, việc sưởi ấm tấm wafer không phải là một công đoạn đơn giản; đây chính là yếu tố quyết định chất lượng sản phẩm, từng tấm wafer một. Sự thay đổi nhiệt độ chỉ 1°C trong quá trình sưởi ấm cũng có thể ảnh hưởng đến độ chính xác của thông số kỹ thuật, gây ra các khuyết tật trên bề mặt wafer. Chúng tôi đã thiết kế hệ thống sưởi bằng tia hồng ngoại để loại bỏ những biến động này.
Điều quan trọng nhất là hệ thống này sử dụng tia hồng ngoại bước sóng ngắn, kết hợp với cơ chế đo nhiệt độ khép kín, giúp duy trì độ đồng đều của nhiệt độ trên toàn bộ bề mặt wafer ở mức ±0,1°C. Nhiệt độ có thể được điều chỉnh trong vòng dưới 3 giây, giúp việc sản xuất diễn ra nhanh chóng mà không cần chờ đợi. Độ chính xác trong việc điều chỉnh nhiệt độ lên tới 0,1°C, và hệ thống này còn được calibrate để đảm bảo độ chính xác cao.
Khu vực sưởi ấm được thiết kế để phù hợp với môi trường phòng sạch cấp độ 1–100: vật liệu không thải khí độc hại, luồng khí chảy đều, và không tạo ra bụi. Nguồn điện sử dụng là 24 V DC, kèm theo lớp bảo vệ chống nhiễu điện từ. Giao diện kết nối của hệ thống này cũng được thiết kế để tích hợp vào hệ thống sản xuất hiện có.
Bạn cần một nguồn nhiệt đáng tin cậy, có thể hoạt động 24/7, từng ca sản xuất một.
Hệ thống sưởi bằng tia hồng ngoại của chúng tôi có thể hoạt động hơn 50.000 giờ mà tỷ lệ sai lệch về công suất chỉ dưới 5%. Hệ thống này có thể hoạt động liên tục mà không cần quá trình làm mát bằng khí. Việc sưởi ấm diễn ra chính xác, giúp giảm thiểu khuyết tật trên bề mặt wafer. Tốc độ phản ứng nhanh giúp giảm thời gian chờ giữa các lần sản xuất, đồng thời giúp giảm lượng sản phẩm bị hỏng và cần sửa chữa. Việc sử dụng năng lượng cũng được giảm bớt vì bộ phát nhiệt chỉ hoạt động khi cần thiết, chứ không phải luôn ở trạng thái chờ.
Một vài lưu ý quan trọng: Cửa sổ phát tia hồng ngoại cần được bảo trì đúng cách – theo đúng quy trình chăm sóc phòng sạch – để đảm bảo độ ổn định của dòng tia phát ra. Việc lắp đặt khá đơn giản, nhưng cần có nguồn điện 24 V ổn định và hệ thống tiếp đất tốt để đảm bảo độ chính xác trong việc kiểm soát nhiệt độ. Hãy đảm bảo rằng các thông số kỹ thuật của thiết bị phù hợp với hệ thống sản xuất hiện có, như vậy mới đảm bảo được độ ổn định trong quá trình sản xuất.