Khử nước trên các tấm wafer MEMS bằng tia hồng ngoại: Tại sao phương pháp này vượt trội hơn các lò sấy truyền thống?
Nếu bạn muốn xây dựng một nhà máy sản xuất hiện đại, thông minh, thì bạn không thể tiếp tục sử dụng những lò sấy truyền thống nữa. Chúng quá chậm trong việc khử nước khỏi các tấm wafer MEMS. Để khử nước trên các tấm wafer này, chúng ta sử dụng hệ thống tia hồng ngoại ngắn sóng. Điều quan trọng nhất là tốc độ và thời gian phản ứng – những yếu tố cần thiết khi dây chuyền sản xuất hoạt động với tốc độ cao.
Tại sao tia hồng ngoại lại hiệu quả?
Điểm mạnh của tia hồng ngoại là nó không lãng phí thời gian để làm nóng không khí xung quanh tấm wafer. Nó trực tiếp tác động lên bề mặt tấm wafer. Điều này giúp tránh việc các bộ phận khác bị quá nhiệt. Hơn nữa, vì bạn có thể kiểm soát được công suất chiếu sáng một cách chính xác, nên bạn có thể kết nối chúng trực tiếp vào hệ thống PLC. Nếu độ dày của tấm wafer thay đổi, hoặc bạn muốn tăng tốc độ sản xuất, bạn chỉ cần điều chỉnh công suất một cách tức thì. Không cần phải chờ đợi cho đến khi không khí xung quanh được làm nóng.
Chi tiết về thiết bị
Chúng tôi thiết kế những bộ sấy này để chúng có thể hoạt động tốt trong môi trường phòng sạch. Chúng tôi sử dụng vật liệu thạch anh có độ tinh khiết cao, để tránh việc các tạp chất làm hỏng các cảm biến. Chúng tôi cũng tập trung vào việc tăng mật độ công suất, tức là giúp quá trình khử nước diễn ra nhanh hơn.
Nhưng cần lưu ý rằng: hãy chú ý đến nguồn điện cung cấp. Nếu điện áp không phù hợp với bóng đèn, chúng sẽ bị hỏng rất nhanh. Ngoài ra, các bóng đèn này cũng rất nóng – không chỉ ở bề mặt tấm wafer mà còn ở hai đầu bóng đèn nữa. Bạn cần sử dụng các konektor và dây dẫn chịu được nhiệt độ cao, nếu không các đầu nối sẽ bị nóng chảy do tải trọng liên tục. Đó không phải là điều tốt chút nào.
Những nhược điểm
Tia hồng ngoại có tốc độ cao, nhanh hơn 60% so với phương pháp sử dụng không khí nóng. Nhưng nó có một nhược điểm: nó chỉ tác động theo một hướng nhất định. Nếu giá đỡ tấm wafer lệch một chút thôi, bạn sẽ gặp phải những vùng lạnh. Bạn cần phải chú ý đến góc chiếu sáng để đảm bảo nhiệt độ được phân bố đều trên toàn bộ bề mặt tấm wafer.
Vì những hệ thống này có hiệu suất cao, nên chúng đòi hỏi sự bảo trì thường xuyên. Bạn cần phải duy trì vệ sinh các bóng đèn thạch anh, tránh việc chúng bị bám bụi hoặc phát ra khí độc. Đó là cái giá nhỏ mà bạn phải trả để có được tốc độ cao trong quá trình sản xuất.