真空室红外加热器

如何让100级洁净室始终保持清洁状态？ 如果在100级洁净环境中对真空室进行加热，那可真是件麻烦事：哪怕有一粒微小的灰尘或微量气体逸出，都会毁掉你的晶圆或光学涂层。这实在令人沮丧。因为大多数普通加热元件并不适合在这种环境下使用——它们会在需要稳定工作的时候出现故障，或者释放出有害的挥发性有机化合物...