প্রিসিশন আইআর হিটিং: ওয়েফার প্রক্রিয়াকরণে কেন নির্দিষ্ট স্থানে তাপ প্রয়োগ করা অত্যন্ত গুরুত্বপূর্ণ?
ওয়েফার প্রক্রিয়াকরণের ক্ষেত্রে সত্যিটা হলো— ঠিক যেখানে প্রয়োজন সেখানেই তাপ প্রয়োগ করা অত্যন্ত গুরুত্বপূর্ণ; অন্য কোথাও নয়।
আমরা ঠিক এই লক্ষ্যটি মাথায় রেখেই ইনফ্রারেড হিটিং সিস্টেম তৈরি করি। ঐতিহ্যগত পদ্ধতিতে তাপ প্রয়োগ করলে শক্তি অপচয় হয়; আর চারপাশের অংশগুলোও ক্ষতিগ্রস্ত হয়।
আমাদের ডাইরেক্টরিয়াল আইআর ল্যাম্পগুলো এই সমস্যার সমাধান করে। এগুলো তাপকে ওয়েফারের উপরেই প্রয়োগ করে, চেম্বারের দেয়ালগুলোতে নয়।
তাপের শক্তি
বিস্তারিত জানার আগে বলা দরকার যে, আমরা এই ল্যাম্পগুলোকে শুধুমাত্র শিল্পক্ষেত্রে ব্যবহারের জন্যই ডিজাইন করি; ল্যাবরেটরি পরীক্ষার জন্য নয়।
এগুলো ৪০০ ভোল্ট ভোল্টেজে কাজ করে; ফলে তাপের চাহিদা বেড়ে গেলেও সবকিছু স্থিতিশীল থাকে। ২৫০০ ওয়াট শক্তির কারণে দ্রুত তাপ উৎপন্ন হয়।
৩০০ মিমি দৈর্ঘ্যটি কোনো কাকতালীয় ব্যাপার নয়; এটা স্ট্যান্ডার্ড ওয়েফার টুলগুলোর জন্যই ডিজাইন করা হয়েছে। ল্যাম্পটি লক্ষ্যস্থলের খুব কাছে অবস্থিত; ফলে কম তাপ অপচয় হয়।
কাঠামো: কোয়ার্টজ, কোটিং, এবং উপযুক্ত ডিজাইন
ল্যাম্পটি কোয়ার্টজ দিয়ে তৈরি। কেন? কারণ এটা হঠাৎ তাপমাত্রা পরিবর্তনের ক্ষেত্রেও ভাঙে না; আর ইনফ্রারেড আলোককে সহজেই প্রবাহিত হতে দেয়।
তারপর রয়েছে কোটিং। এটা আলোকের তরঙ্গদৈর্ঘ্যকে নিয়ন্ত্রণ করে; ফলে অপ্রয়োজনীয় আলো কমে যায়। ফলে আরও বেশি শক্তি ওয়েফারের উপরেই পড়ে।
ইনস্টলেশনের জন্য আমরা R7s-টাইপ কন্টাক্টগুলো ব্যবহার করি। এগুলো উচ্চ কারেন্ট সামলাতে সক্ষম; আর রিপ্লেসমেন্টও খুব সহজ।
ডাইরেক্টরিয়াল ডিজাইন ও রিফ্লেক্টরের সাহায্যে তাপ সরাসরি ওয়েফারের দিকেই যায়— পাশে বা পিছনে নয়।
বাস্তব জগতে কেমন লাগে?
ওয়েফার প্রক্রিয়াকরণে তাপ নিয়ন্ত্রণ করাই হলো প্রক্রিয়া নিয়ন্ত্রণ করার মতোই।
ডাইরেক্টরিয়াল হিটিংয়ের ফলে শক্তি অপচয় কমে যায়; ফলে অপারেশনাল খরচও কমে যায়। আর আশেপাশের কম্পোনেন্টগুলোও ক্ষতিগ্রস্ত হয় না।
ঠান্ডা চেম্বার দেয়ালগুলোর কারণে সংবেদনশীল হার্ডওয়্যারগুলো দীর্ঘসময় ধরে কাজ করতে পারে। আর রক্ষণাবেক্ষণের সময়ও কাজের এলাকাটি আরও নিরাপদ থাকে।
একটি বিষয় মনে রাখা দরকার: উচ্চ তাপ ঘনত্বের কারণে মেশিনের কুলিং ব্যবস্থাও যথাযথ হওয়া দরকার। কিন্তু যদি কুলিং ব্যবস্থাটি ল্যাম্পের সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ হয়, তাহলে তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ সহজ হয়; আর কাজের এলাকাটিও আরও নিরাপদ ও নিয়ন্ত্রণযোগ্য হয়।