Udržení čisté místnosti třídy 100 skutečně čistou
V podnicích na výrobu polovodičů může jediný zrnko prachu – něco, co ani nevidíte – zničit celou sadu destiček. Je to noční můra. Proto, když potřebujete do prostředí třídy 100 přivést teplo, nemůžete jen tak použít běžný topný prvek. Ty totiž uvolňují plyny a částice ve velkém množství.
Proto používáme infračervené lampy vyrobené z kvartzu vysoké čistoty.
Proč je kvarts důležitý
Do těchto lamp používáme syntetický spjený křemík. Pokud byste použili levnější borosilikátové sklo, budete muset řešit problém s uvolňováním chemikálií z skla do čistého vzduchu.
Kvartzová obálka funguje jako pevné uzavření, které udržuje wolframový vlákno a halogenní plyn na svém místě. Nejlepší na tom je, že dochází k radiačnímu zahřívání – teplo působí přímo na cíl. Není tam žádný fyzický kontakt, žádný proud vzduchu a žádný prach.
Návrh pro reálné podmínky
V těchto zařízeních je vždy málo místa, proto se zaměřujeme na vysokou hustotu výkonu. Chceme, aby se tyto lampy rychle rozehřály.
Díky tomu, že infračervená energie působí v krátkovlnných oblastech, teplo působí přímo na povrch destičky. Nemusí se plýtvat časem na zahřívání vzduchu v komoře, což znamená, že chladicí systémy nemusí pracovat nad rámec svých možností.
Věnujeme také hodně pozornosti utěsněním vodičů. I ten nejmenší prostor mezi vodiči představuje „otevřené dveře“ pro nečistoty. Používáme speciální spoje ze spjeného skla, aby utěsnění zůstalo na svém místě a neprasklo při změnách teploty.
Složité aspekty
Kvartz je sice skvělý materiál, ale je křehký. Dobře snáší teplo, ale nerad je narušován nebo otřásán.
Tady je tip: nepřetěžujte úchyty pro uložení lampy. Pokud není dostatek prostoru pro roztažení trubice při zahřívání, prostě se rozbije. Musíte nechat ten správný prostor.
A ještě jedna věc – protože tyto lampy jsou velmi intenzivní, mohou „spálit“ organické povlaky na destičce, pokud je destička příliš blízko. Je dobré znovu zkontrolovat vzdálenost ohniska v závislosti na výkonu lampy, abyste nehavarovali povrch destičky.