Proč přecházíme na zasychání pomocí infračerveného záření v továrnách bez olova
Většina továren na výrobu polovodičů konečně opouští ty staré konvekční trouby a metody sušení s využitím rozpouštědel. Už je na čase. Vidíme velký nárůst používání infračerveného záření – protože to skutečně umožňuje dosáhnout cílů spojených s „ekologičností“ a absencí olova, aniž by se zpomalila výrobní proces.
Zde je vysvětlení toho, jak to vlastně funguje.
Pomyslete na horký vzduch – ten působí pomalu. Je potřeba nejprve ohřát vzduch, poté stěny komory a teprve poté samotný produkt. Infračervené záření je jiné – energie se dostává přímo do substrátu.
Při lepení bez olova nebo použití fotorezistů nemůžete prostě použít horký vzduch – jinak by se wafer zkřivil. Infračervené záření nám umožňuje vybrat konkrétní pásmena absorpce. Je to jako chirurgický zásah – teplo se dostane přesně tam, kam je potřeba, zatímco zbytek prostředí zůstává chladný.
A pak je tu ještě otázka spotřeby energie.
Tradiční metody sušení znamenají neustálé zapínání silných ohřívačů a ventilátorů 24/7. To je plýtvání energií. Na druhou stranu infračervené lampy dosáhnou své provozní teploty během sekund. Stačí zapnout vypínač a lampy jsou připraveny k použití.
Už nemusíte čekat na dlouhé cykly ohřevu, které spotřebovávají spoustu energie. Navíc, jelikož nevyfukujete vzduch všude kolem, nemusíte se obávat, že do čisté místnosti proniknou nějaké nečistoty. Všechno zůstává pod kontrolou.
Ale není to úplně magie.
Infračervené záření je sice rychlé, ale je potřeba být opatrný. Pokud použijete vysoce intenzivní krátkovlnné infračervené záření, může dojít k problémům – vrchní vrstva se totiž zaschne tak rychle, že uvězní rozpouštědla pod sebou. To není dobré.
Je potřeba správně nastavit polohu lamp a rychlost dopravy produktu, aby teplo proniklo do všech částí substrátu. A pokud je váš chladicí systém příliš slabý na to, aby zvládl teplo odrážející se od waferu, teplota procesu začne kolísat.
Přecházíme na infračervené záření, protože to dává smysl jak pro planetu, tak i z hlediska ekonomiky. Eliminuje toxická rozpouštědla a snižuje spotřebu elektřiny. Prostě to funguje.