http://quartz-emitter.com/cs/tags/ozon/ Recent content in Ozon on High-Quality Quartz Emitters Hugo cs Mon, 01 Jun 2026 20:37:39 +0800 http://quartz-emitter.com/cs/posts/ozone-free-infrared-lamp/ Mon, 01 Jun 2026 20:37:39 +0800 http://quartz-emitter.com/cs/posts/ozone-free-infrared-lamp/ <p><img src="http://quartz-emitter.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="Infračervená lampa bez ozonu"></p> <h1 id="na-lithografické-hale-je-profil-fotorezistu-nastaven-ještě-před-expozicí-posun-o-půl-stupně-během-měkkého-nebo-tvrdého-vypalování-naruší-tepelný-rozpočet-a-tím-i-kontrolu-kritické-dimenze-naše-infračervené-lampy-bez-ozonu-jsme-navrhli-tak-aby-tento-posun-zastavily-a-dodávaly-opakovatelně-teplo-přesně-tam-kde-proces-vyžaduje--přímo-na-wafer">Na lithografické hale je profil fotorezistu nastaven ještě před expozicí. Posun o půl stupně během měkkého nebo tvrdého vypalování naruší tepelný rozpočet a tím i kontrolu kritické dimenze. Naše infračervené lampy bez ozonu jsme navrhli tak, aby tento posun zastavily a dodávaly opakovatelně <a href="https://o-yate.net">teplo</a> přesně tam, kde proces vyžaduje – přímo na wafer.</h1> <p><strong>Co je technicky podstatné</strong><br> Používáme krátkovlnné infračervené emitory s křemennou optikou, takže ohřev je přímý (line-of-sight) a tepelná odezva je podsekundová. Výstup je laděný na absorpci fotorezistu, což znamená, že <a href="https://o-yate.com">povrch</a> waferu dosahuje nastavené teploty rychle, zatímco upínací deska (chuck) zůstává chladná.<br> Uniformita teploty na úrovni waferu se drží v rámci ±0,1 °C v celé oblasti vypalování a opakovatelnost teploty je pod ±0,2 °C mezi jednotlivými šaržemi. Systém je bez ozonu, takže se nemusíte obávat oxidace v čisté místnosti a počet částic zůstává nízký. Provoz je 24/7 se stabilním výkonem; jednotky dosáhly provozu přes 5 000 hodin s poklesem intenzity pod 5 %.</p>