Hören Sie auf, Energie in den Öfen der Reinraumumgebungen zu verschwenden
Wenn Sie Halbleiterwafern erhitzen, wissen Sie, dass jeder einzige Watt wichtig ist. Das Problem ist, dass herkömmliche IR-Heizgeräte Energie verlieren – sie leiten eine Menge Energie in die Wände des Ofens ab, wo diese Energie für Ihren Prozess völlig nutzlos ist.
Wir haben eine bessere Lösung gefunden. Wir verwenden goldbeschichtete Reflektoren, um das Infrarotlicht einzufangen und es direkt dorthin zu lenken, wo es gebraucht wird – nämlich auf die Wafer.
Warum Gold?
Es geht nicht darum, etwas „Luxuriöses“ zu haben. Es geht vielmehr darum, wie das Licht reflektiert wird. Gold ist bei der Reflexion von Langwellen- und Mittelwellen-Infrarotstrahlung viel besser als Aluminium oder poliertes Stahl. Wir tragen eine dünne Schicht Gold auf den Reflektor auf, damit die Photonen, die sonst einfach verschwinden würden, gefangen werden können.
Das Ergebnis? Ein viel stärkerer Wärmefluss. Die Wafer erreichen die gewünschte Temperatur schneller – und Sie müssen die Leistung des Stromversorgungssystems nicht erhöhen, um dies zu erreichen.
Die schwierige Seite
Wenn man Energie auf diese Weise konzentriert, entsteht eine hohe Wärmestärke. Das ist zwar gut, um die Aufwärmzeit zu verkürzen, doch es bleibt kaum Spielraum für Fehler. Wenn die Ausrichtung der Lampen auch nur um ein paar Millimeter fehlt, entstehen starke Hitzepunkte. Deshalb müssen die PID-Controller perfekt eingestellt werden. Wenn der Reflektor zu stark wirkt, können die Ränder der Wafer beschädigt werden. Wir verwenden viel Zeit darauf, die Krümmung der Goldoberfläche so anzupassen, dass die Wärme gleichmäßig über die gesamte Fläche verteilt wird. Es handelt sich dabei um ein Balanceakt.
Einsatz in Reinraumumgebungen
Diese Heizgeräte sind für die Praxis entwickelt worden. Wir verwenden Materialien, die bei hohen Temperaturen keine Gase abgeben oder Partikel freisetzen.
Das Beste daran: Da die Goldbeschichtung die Energie viel effektiver nutzt, kann man oft Lampen mit geringerer Leistung verwenden und trotzdem dieselben Ergebnisse erzielen. Das ist eine große Erleichterung für das HVAC-System Ihres Betriebs – schließlich wird keine zusätzliche Wärme in den Raum abgegeben. Nur eine Warnung: Überprüfen Sie unbedingt Ihre Verkabelung. Stellen Sie sicher, dass sie die spezifische Stromlast der IR-Lampen bewältigen kann, damit es keine Spannungsabfälle über lange Kabelstrecken gibt.