Draußen auf der Produktionslinie ist es dem Zeitmesser völlig egal, welche Schicht gerade läuft. Ein Vorheizprofil, das leicht abweicht – das führt...

Role Sie befinden sich auf der Lithografie-Ebene, wo das Photoresist-Profil vor der Belichtung festgelegt wird. Eine halbe Grad Abweichung während...