Vorwärmgerät für bleifreie Lötwafer

Fri, 26 Jun 2026 05:29:07 +0800

Draußen auf der Produktionslinie ist es dem Zeitmesser völlig egal, welche Schicht gerade läuft. Ein Vorheizprofil, das leicht abweicht – das führt dazu, dass Fehler wie Lücken im Lötmaterial, Fehlstellungen oder Verluste durch den Photoresist in die nächste Produktionscharge gelangen. Man benötigt daher einen Wafer-Vorheizer, der mit dem thermischen Budget genauso umgeht, wie es sein sollte: als strengen Prozesslimit – und nicht als etwas, was nur „nice to have“ ist.

Was wir entwickelt haben – und warum das wichtig ist
Wir haben diesen leadfreien Wafer-Vorheizer nach einem bestimmten Prinzip entwickelt: Reproduzierbare, messbare Kontrolle. Die Temperaturgleichmäßigkeit über die gesamte Waferoberfläche wird auf ±0,1°C gehalten – dadurch startet jedes Bauteil von derselben thermischen Ausgangslage aus. Das Heizsystem verwendet Infrarotstrahlung mit präziser Spektralkontrolle – somit wird Energie effizient genutzt, ohne dass es zu Hotspots kommt.

Ozonfreie Infrarotlampe

Mon, 01 Jun 2026 20:37:39 +0800

Role

Sie befinden sich auf der Lithografie-Ebene, wo das Photoresist-Profil vor der Belichtung festgelegt wird. Eine halbe Grad Abweichung während des Softbakes oder Hardbakes stört das thermische Budget und beeinträchtigt die Kontrolle der kritischen Dimensionen. Unsere ozonfreien Infrarotlampen wurden entwickelt, um diese Abweichung zu verhindern, indem sie reproduzierbare Wärme genau dort liefern, wo der Prozess sie benötigt – direkt am Wafer.

Technisch relevante Fakten
Wir verwenden kurzwellige Infrarotstrahler mit Quarzoptik, sodass die Erwärmung im Sichtfeld erfolgt und die thermische Reaktion im Sub-Sekunden-Bereich liegt. Die Leistung ist auf die Absorption des Photoresists abgestimmt, was bedeutet, dass die Waferoberfläche schnell die Solltemperatur erreicht, während der Chuck kühl bleibt.
Die Wafer-gleichmäßigkeit liegt innerhalb von ±0,1 °C über die Bake-Zone, und die Temperaturwiederholbarkeit bleibt von Charge zu Charge unter ±0,2 °C. Das System arbeitet ozonfrei, sodass keine Oxidation im Reinraum zu befürchten ist und die Partikelanzahl niedrig bleibt. Es läuft 24/7 mit stabiler Leistung; einzelne Einheiten haben bereits über 5.000 Stunden mit weniger als 5 % Intensitätsverlust erreicht.

Frei on High-Quality Quartz Emitters

Vorwärmgerät für bleifreie Lötwafer

Ozonfreie Infrarotlampe

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