http://quartz-emitter.com/de/tags/nikon/ Recent content in Nikon on High-Quality Quartz Emitters Hugo de Thu, 25 Jun 2026 05:06:58 +0800 http://quartz-emitter.com/de/posts/nikon-stepper-lamp-replacement/ Thu, 25 Jun 2026 05:06:58 +0800 http://quartz-emitter.com/de/posts/nikon-stepper-lamp-replacement/ <p><img src="http://quartz-emitter.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="Ersetzung der Nikon Stepperlampe"></p> <p>Auf der Lithografieebene ist die Lampe weit mehr als nur ein Verbrauchsmaterial. Sie dient als thermischer Anker für alle Prozesse – sowohl bei weicher als auch bei harter Belichtung. Sie bestimmt außerdem das Profil des Photoresists, was wiederum die kritischen Abmessungen der Wafer beeinflusst. Wenn die Leistung der Lampe schwankt, verschlechtert sich die thermische Gleichmäßigkeit. Die Toleranzen bei der Belichtung nehmen ab, die Anzahl der Partikel steigt an. Die Qualität der Wafer verschlechtert sich bereits bevor eine Überprüfung der Defekte stattfinden kann.</p>