Infrarotheizer für Vakuumkammern

Mon, 20 Jul 2026 11:41:09 +0800

Ihren Reinraum der Klasse 100 tatsächlich sauber halten

Wenn Sie eine Vakuumkammer in einem Reinraum der Klasse 100 erhitzen, kennen Sie sicherlich das Problem: Schon ein winziger Staubkorn oder ein Hauch an ausgasenden Stoffen kann dazu führen, dass Ihre Wafer oder optischen Beschichtungen beschädigt werden. Das ist frustrierend. Die meisten herkömmlichen Heizelemente eignen sich nicht dafür – sie brechen ab oder geben flüchtige organische Verbindungen ab, genau dann, wenn sie stabil sein sollten.

Deshalb verwenden wir hochreinen synthetischen Quarzkristall für die Infrarotlampen.

Vakuumkompatibler Infrarotheizer

Fri, 17 Jul 2026 07:56:44 +0800

Den Albtraum beenden: Ihre Wafer sauber halten, wenn die Heizgeräte versagen
In einer Hochlast-Semikonduktorenanlage bedeutet das Ausfallen einer Lampe nicht nur lästige Stillstände – es ist eine Katastrophe. Wenn eine Quarzröhre in der Vakuumkammer platzt, muss man sich nicht nur mit einem kaputten Teil auseinandersetzen, sondern auch mit Glassplittern und Gasentwicklungen im ganzen Raum. Die Wafer werden verschmutzt – und der ganze Tag ist ruiniert.

Wir haben unsere Vakuum-Infrarotheizer speziell entwickelt, um das zu verhindern.

Die Unordnung in Schach halten
Wir verwenden hochreinen synthetischen Quarz – schließlich kann dieser die Hitze bei schnellen Wechseln aushalten, ohne zu zerbrechen. Doch wir verlassen uns nicht nur auf das Glas selbst. Wir fügen außerdem einen schützenden Umhüllungsring hinzu. Stellen Sie sich das wie ein Sicherheitsnetz vor. Falls das Innenseil der Röhre versagt und die Röhre zerbricht, fängt der Umhüllungsring die Bruchstücke auf. So werden die Splitter davon abgehalten, durch den Raum zu fliegen. Anstatt die gesamte Kammer reinigen zu müssen und dadurch den Ertrag zu beeinträchtigen, muss man sich nur mit einer defekten Lampe auseinandersetzen.

Vakuum on High-Quality Quartz Emitters

Infrarotheizer für Vakuumkammern

Vakuumkompatibler Infrarotheizer