¿Por qué estamos pasando al uso de lámparas infrarrojas de ultra alta pureza en la fabricación de semiconductores?
Seamos honestos: los hornos de convección ya parecen algo obsoleto. En el mundo del secado y curado de semiconductores, estamos presenciando un cambio significativo hacia el uso de lámparas infrarrojas de ultra alta pureza.
No se trata solo de cumplir con las normas de “libre de plomo y ecológicas”… aunque eso también ayuda. Se trata de cómo se distribuye el calor. En lugar de usar aire caliente para calentar todo el espacio, las lámparas infrarrojas utilizan radiación electromagnética, que afecta directamente al sustrato.
Ya no hay necesidad de desperdiciar energía calentando grandes volúmenes de aire solo para secar una oblea.
La magia del calor instantáneo
Lo mejor de estas lámparas es que utilizan un filamento de tungsteno dentro de una manga de cuarzo de alta pureza. Cuando se encienden, generan un calor muy concentrado.
Encendido instantáneo: no hay necesidad de esperar a que la cámara se caliente. Eso representa un gran ahorro en términos de energía. No se desperdicia energía calentando las paredes de la máquina o el aire circundante; la energía se utiliza donde realmente se necesita.
Manteniendo todo impecable
Si se siguen los estándares de “libre de plomo”, sabrá lo problemático que puede ser la liberación de gases. Los calentadores tradicionales suelen utilizar aleaciones o recubrimientos que pueden desprenderse o liberar gases cuando se calientan. Eso es un verdadero problema cuando se trabaja con obleas.
Nosotros utilizamos cuarzo sintético con casi cero impurezas. Así, todo permanece limpio. No hay combustión, ni solventes dañinos, ni emisiones de carbono en el lugar donde se trabaja. Simplemente, todo parece más limpio.
Los desafíos técnicos
Aunque no es tan sencillo como conectarlas y listo, estas lámparas generan mucho calor en un espacio muy pequeño. No se pueden simplemente instalar en una máquina antigua sin más. Hay que pensar bien en los sistemas de enfriamiento. Si no se diseña adecuadamente el sistema de enfriamiento, podrían deformarse los soportes de montaje o incluso dañarse las lámparas mismas. Es preciso encontrar un equilibrio.
Un consejo sobre los cables: utilice cables blindados resistentes a altas temperaturas. No quiere que las interferencias electromagnéticas afecten a sus sensores sensibles. Es un detalle importante, pero le ahorrará muchos problemas en el futuro.