چرا ما به استفاده از روش خشکسازی با امواج مادون قرمز روی آوردهایم؟
وقتی که میخواهیم یک اتاق تمیز را بهبود بخشیم، معمولاً دو موضوع اصلی وجود دارد: جلوگیری از هدررفت انرژی و جلوگیری از تولید گازهای زیانآور.
سالهاست که از فرهای حرارتی برای خشکسازی استفاده میکردیم؛ اما مشکل اینجاست که این فرها مقدار زیادی انرژی را صرف گرم کردن هوای موجود در اتاق میکنند. این روش کارایی لازم را ندارد. علاوه بر این، حرکت دادن این مقدار هوا، باعث ایجاد آلودگی در ویفرها میشود.
بنابراین، ما به استفاده از روش خشکسازی با امواج مادون قرمز روی آوردیم. در این روش، به جای گرم کردن کل اتاق، فقط سطح ویفر گرم میشود. این روش سادهتر است.
نحوه عملکرد این روش
میتوانید آن را مانند نور خورشید در روزهای سرد در نظر بگیرید؛ شما نیازی ندارید که هوای اطرافتان گرم باشد تا گرما را احساس کنید. امواج مادون قرمز از تشعشعات الکترومغناطیسی برای ورود مستقیم به لایه روکش یا فوتورزیست استفاده میکنند. این کار منجر به واکنش شیمیایی فوری میشود.
زمان خشکسازی نیز به طور قابل توجهی کاهش مییابد. همچنین، چون این روش بسیار کارایی دارد، دیگر نیازی به استفاده از مواد شیمیایی برای تسریع فرآیند نیست. این روش، روشی پاکتر برای کار است، و تأثیر منفی آن بر محیط زیست نیز کمتر است.
دستیابی به دقت لازم
ما این سیستمها را به گونهای طراحی کردهایم که بتوانیم مقدار زیادی گرما را در فضای کوچکی تولید کنیم.
شما میتوانید طول موج امواج مادون قرمز را تنظیم کنید؛ یعنی بین موجهای کوتاه و متوسط تغییر دهید، بسته به اینکه چقدر از گرما میخواهید به سطح ویفر برسد. اگر در یک خط تولید با حجم بالا کار میکنید، این روش بسیار مفید است؛ زیرا امکان کوچک کردن تونل خشکسازی وجود دارد، و در نتیجه میتوانید فضای کمتری را برای کار استفاده کنید.
معایب این روش
البته، امواج مادون قرمز جادویی نیستند؛ گرمای تولید شده بسیار زیاد است. اگر با ویفرهای نازک یا حساس کار میکنید، ممکن است لبههای ویفر بیش از حد گرم شود. بنابراین باید مراقب باشید. باید تعادل مناسبی بین توان لامپ، سرعت انتقال ویفر و مناطق خنککننده برقرار کنید.
اگر سیستم خنککننده شما قادر به مقابله با این گرما نباشد، ویفرها دچار تغییر شکل خواهند شد. و هیچ کس این را نمیخواهد.
سازگارسازی با سیستمهای موجود
اگر سیستمهای الکتریکی شما از قبل آماده باشد، جایگزینی فرهای حرارتی قدیمی با لامپهای مادون قرمز کار بسیار سادهای است.
در این روش، هیچ گاز سوزندهای وجود ندارد؛ فقط یک فرآیند الکتریکی پاک وجود دارد که باعث رضایت بازرسان محیط زیست میشود و استانداردهای جهانی را نیز رعایت میکند.