دیگر منتظر نمانید: چرا روش تغذیه انرژی با استفاده از موجهای مادون قرمز بهتر از روش هوای گرم است؟
هنگام انتخاب ابزار مناسب برای فرآیندهای پردازش عمیق، در واقع در حال تصمیمگیری درباره نحوه انتقال انرژی هستیم.
اکثر افراد از روش هوای گرم برای این منظور استفاده میکنند؛ این روش استاندارد است. اما مشکل اینجاست که هوا تنها یک واسطه است؛ شما هوا را گرم میکنید و سپس امیدوارید که هوا، ویفر را نیز گرم کند. این روش کند است.
روش گرمایش با موجهای مادون قرمز، این واسطه را حذف میکند؛ انرژی مستقیماً به سطح ویفر منتقل میشود. نیازی به انتظار نیست.
هزینه واقعی انتظار
اگر از روش هوای گرم استفاده کردهاید، میدانید که چقدر این روش آهسته عمل میکند. هوا نمیتواند گرما را خوب نگه دارد؛ لایه نازک هوایی که روی سطح ویفر وجود دارد، مانند یک سپر عمل کرده و سرعت فرآیند را کاهش میدهد.
این چند ثانیه یا دقیقه از دست رفته، شاید برای یک ویفر مهم نباشد؛ اما در کارخانههایی که حجم تولید بالاست، این موضوع یک فاجعه است.
با استفاده از لامپهای مادون قرمز، میتوانید به سرعت به هدف خود برسید؛ زمان لازم برای رسیدن به دمای مورد نظر از دقایق به میلیثانیهها کاهش مییابد. این موضوع مربوط به یک معیار مبهم «کارایی» نیست؛ بلکه مربوط به تولید تعداد بیشتری ویفر در هر ساعت است، زیرا دیگر نیازی به انتظار برای گرم شدن محیط نیست.
پاکسازی فضا
علاوه بر این، استفاده از روش مادون قرمز به شما امکان میدهد فضای بیشتری را آزاد کنید؛ میتوانید از فنهای بزرگ و سیستمهای پیچیدهای که برای هدایت هوای گرم لازم هستند، استفاده نکنید.
نکته جالب اینجاست که این روش امکان گرمایش منطقهای را فراهم میکند؛ اگر یک نقطه روی ویفر سرد باشد، میتوانید فقط آن نقطه را گرم کنید، بدون اینکه به بقیه بخشهای ویفر آسیبی برسد. این روش بسیار دقیقتر است.
معایب
البته، روش مادون قرمز راهحل جادویی نیست؛ به دلیل سرعت بالای آن، اگر سیستم کنترل دما به درستی کار نکند، ممکن است دما بیش از حد بالا برود.
نمیتوانید فقط دما را تنظیم کنید و فراموش کنید؛ نیاز به سنسورهای سریع و کنترلکنندههای قدرتی دارید که بتوانند در همان لحظه که دما به حد مورد نظر رسید، گرما را کنترل کنند.
همچنین، باید مراقب سیستم خنککننده نیز باشید؛ اگر سیستم نتواند گرمای تولید شده توسط لامپ را دفع کند، دمای ویفر شروع به افزایش خواهد کرد. لطفاً از سیستمهای محافظتی مناسب استفاده کنید؛ در غیر این صورت، ممکن است الکترونیکهای خود را خراب کنید.